Posted in | Nanoelectronics

Imec Plaatst Belangrijke Stap Tegen 20nm de Halve Hoogte Onderling Verbindt

Published on July 13, 2010 at 8:24 PM

Imec plaatst belangrijke stap tegen 20nm de halve hoogte met de totstandbrenging van elektrisch functionele koperlijnen ingebed in siliciumoxyde gebruikend een verbindingsstuk-bepaalde dubbele het vormen benadering onderling verbindt.

De analyse TEM In dwarsdoorsnede van 20nm hoogte ½ verbindt na integratie in enige damascene onderling gebruikend een verbindingsstuk bepaalde dubbele het vormen benadering.

„Wij zijn zeer trots om te zijn eerste van de wereld in zich het ontwikkelen en de verwerking van dergelijke kleine op-hoogte die verbindt werken onderling; “ bovengenoemde Zsolt Tokei, programmadirecteur verbindt bij imec onderling. „HetBepaalde (of zelf-gericht) dubbele vormen heeft onlangs rente als het vormen techniek voor toekomstige het geheugenapparaten van de FLITS bereikt. Ik ben zeker dat de geheugenbedrijven van dit overzichtsresultaat.“ zullen profiteren

Het Schrapen van verbindt tegen 20nm halve hoogtegezichten vele uitdagingen onderling. De Dubbele het vormen lithografie is nodig aangezien de metaallijnen niet in één enkele af:drukken kunnen worden gerealiseerd. Daarom is een oplossing nodig voor de daadwerkelijke ontwerpspleet van de structuren en de groepering van de verschillende maskers. En, vullen van (sub) 20nm lijnen is niet mogelijk gebruikend standaard fysiek dampdeposito van op taN/Ta-Gebaseerde metallisering. Voorts wordt de controle van lijn-rand ruwheid meer en meer moeilijk met het verdere schrapen. En tenslotte, wordt de techniek van de het vormen stapel vereist voor optimale adhesie.

Imec toonde het vormen en metallisering van 20nm de halve lijnen van het hoogtekoper in siliciumoxyde met aan een het metaal hard masker van het Tin. Het vormen is gebaseerd op een offer dubbel hard masker en gebruikt 3 foto's (KERN, VERSIERING en FLARD) en vier etsen stappen. De foto van de KERN bepaalt dichte lijnen bij 40nm halve hoogte, die na versiering, etsen en van het verbindingsstukresultaten in 20nm de halve lijnen van het hoogteverbindingsstuk deposito. De VERSIERING maakt grote openingen om de verbindingsstuklijnen te snijden weg langs etst. En het FLARD bepaalt de definitieve lay-out, de elektroaanslutingen en de bandstootkussens. De controle van de Bekleding is kritiek omhoog met het ontworpen testpatroon te beëindigen. Het diëlektrische uit elkaar plaatsen tussen de metaallijnen werd nauwkeurig gecontroleerd dankzij de verbindingsstuk-bepaalde integratiemethode. Een op ruthenium-Gebaseerde metalliseringsregeling werd gebruikt om het void-less vullen te realiseren.

De Diëlektrische analyseeigenschappen van verbinden werden gemeten onderling en de resultaten zijn zeer aanmoedigend aangezien het analysegebied aan de intrinsieke diëlektrische analyseeigenschappen van het oxyde en de diëlektrische GLBlagen dicht is.

Deze resultaten werden verkregen in samenwerking met de zeer belangrijke partners van imec in zijn kernCMOS programma's: Intel, Micron, Panasonic, Samsung, TSMC, Sony, Fujitsu, Infineon, Qualcomm, Micro-electronisch ST, Amkor.

Imec voert wereld-leidend onderzoek naar nanoelectronics uit. De hefboomwerkingen van Imec zijn wetenschappelijke kennis met de innovatieve macht van zijn globale vennootschappen in ICT, gezondheidszorg en energie. Imec levert industrie-relevante technologieoplossingen. In een uniek high-tech milieu, is zijn internationaal hoogste talent geëngageerd aan het verstrekken van de bouwstenen voor het beter leven in de duurzame maatschappij. Imec is gestationeerd in Leuven, België, en heeft bureaus in België, Nederland, Taiwan, de V.S., China en Japan. Zijn personeel van meer dan 1.750 mensen omvat meer dan 550 industriële ingezetenen en gastonderzoekers. In 2009, imec was de opbrengst (P&L) 275 miljoen euro.

Imec is een gedeponeerd handelsmerk voor de Internationale activiteiten van IMEC (een wettelijke entiteitopstelling in het kader van Belgische wet als „stichting bestelwagen openbaar die noot“), imec België (IMEC vzw door de Vlaamse Overheid wordt gesteund), imec Nederland (Stichting IMEC Nederland, een deel van Centrum Holst dat door de Nederlandse Overheid) wordt gesteund, imec Taiwan (Co. van IMEC Taiwan) en imec China (Co. Ltd van de Micro-elektronica IMEC (Shangai)).

Last Update: 12. January 2012 09:59

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit