ADT Sikrer SBIR fond til udvikling af nye Pad Conditioners

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Avanceret Diamond Technologies (ADT) modtog en fase I Small Business Innovation Research (SBIR) bevilling fra National Science Foundation (NSF) at udvikle den næste generation af kemiske mekaniske planarization (CMP) pad conditioners til halvlederindustrien.

Den kontrollerede geometriske fremspring på ADT er microfabricated diamant CMP pad conditioners mulighed for fremstilling af næste generation af halvlederkomponenter, mens tilbyde uovertrufne kemiske inaktivitet diamant uden "pull out" fiasko, der karakteriserer øjeblikket er til rådighed diamant CMP trædepuder.

Billede af Advanced Diamond Technologies 'meget repeterbare, wafer skala, 3D diamant strukturer fås i forskellige struktur højder og standpladser for manipuleret CMP pad balsam.

ADT er pad conditioners funktion meget repeterbare 3D diamant strukturer, der skaber en struktureret overflade, og mange forskellige struktur højder og pladser kan let manipuleret. Disse pad conditioners er fremstillet ved hjælp af raffinerede halvleder behandling teknikker, som gør det muligt ADT at tilbyde produkter, der er af langt højere kvalitet end den nuværende generation af balsam til konkurrencedygtige priser.

"Fordelene ved en micromachined diamant overflade omfatter lav slid og præcis diamant mønster, for at imødekomme kravene fra de 32 nm node og videre, hvilket kan resultere i CMP pad balsam, der holder længere og klarer sig bedre end den nuværende branchestandarder," siger dr . John A. Carlisle, Chief Technology Officer, ADT.

"Med en potentiel størrelsesorden stigning i levetid for det pad balsam, kan hyppigheden af ​​skiftende både pad og pad balsam blive reduceret, hvilket sparer tid og penge," sagde Dr. Diane P. Hickey, direktør for salg og marketing, ADT. "Vores pad conditioners kan designes og optimeres til forskellige pad og gylle kombinationer. Vi er gået sammen med CMP aktører i branchen at bringe denne spændende teknologi på markedet. "

ADT er taknemmelig NSF er SBIR program for sponsorering dette arbejde.

Kilde: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 10. October 2011 14:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit