ADT Befestigt SBIR-Fonds für das Entwickeln von Neuen Auflagen-Signalformern

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Hoch entwickelte Diamant-Technologien (ADT) empfingen ein Kleinunternehmen-Innovations-Forschungsstipendium der Phasen-I (SBIR) von der National Science Foundation (NSF), um die nächste Generation von chemischen mechanischen planarization Auflagen (CMP)signalformern für die Halbleiterindustrie zu entwickeln.

Die esteuerten geometrischen Vorsprünge auf CMP-Auflagensignalformern Diamant ADTS microfabricated aktivieren die Produktion von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation, beim Angebot der unübertroffenen chemischen Untätigkeit des Diamanten ohne „ausziehen“ Versagen, die zur Zeit verfügbare Diamant CMP-Auflagen kennzeichnen.

Bild der Hoch entwickelten Zellen der Diamant-Technologien in hohem Grade wiederholbar, Waferschuppen-, Diamant3d erhältlich in den verschiedenen Zellenhöhen und Abstände für ausgeführte CMP-Auflagensignalformer.

Auflagensignalformer ADTS kennzeichnen in hohem Grade wiederholbare Zellen des Diamanten 3D, die eine strukturierte Oberfläche erstellen, und viele verschiedenen Zellenhöhen und -abstände können leicht ausgeführt werden. Diese Auflagensignalformer sind unter Verwendung der in hohem Grade weiter entwickelten Verfahrenstechniken des Halbleiters hergestellt, die ADT aktivieren, Produkte, die von viel hochwertigerer, als sind die aktuelle Generation von Signalformern zu konkurrenzfähigen Preisen anzubieten.

„Der Nutzen einer micromachined Diamantoberfläche umfaßt niedrige den kopierenden Abnützung und genauen Diamanten, um die Nachfragen des 32 nm Knotenpunktes zu befriedigen und jenseits, der CMP-Auflagensignalformer ergeben kann, die letzte längere und besser als die aktuellen Industriestandards durchführen,“ sagte Dr. John A. Carlisle, leitender Technologiebeamter, ADT.

„Mit einer möglichen Größenordnung Zunahme der Lebenszeit für den Auflagensignalformer, kann die Frequenz der ändernden Auflage und des Auflagensignalformers verringert werden, Sicherungszeit und Geld,“ sagte Dr. Diane P. Hickey, Verkaufsleiter und Marketing, ADT. „Unsere Auflagensignalformer können für verschiedene Auflagen- und Schlammkombinationen bestimmt sein und optimiert werden. Wir tun uns mit CMP-Industriespielern zusammen, um diese aufregende Technologie zu holen, um zu vermarkten.“

ADT bestätigt dankbar das SBIR-Programm des NSF für das Sponsoring dieser Arbeit.

Quelle: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 12. January 2012 00:14

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