Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

ADT Asegura SBIR Fondo para el desarrollo de nuevos acondicionadores de Pad

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Tecnologías avanzadas de diamante (ADT), recibió una primera fase Small Business Innovation Research (SBIR) beca de la National Science Foundation (NSF) para desarrollar la próxima generación de acondicionadores químicos mecánicos planarization pad (CMP) para la industria de los semiconductores.

Las protuberancias control geométrico sobre microfabricated ADT acondicionadores de diamante CMP plataforma permiten la producción de la próxima generación de dispositivos semiconductores ofreciendo al mismo tiempo la inercia química sin igual del diamante sin el "sacar" el fracaso que caracteriza actualmente a disposición de diamantes pastillas de CMP.

Imagen de alta repetibilidad tecnologías avanzadas del diamante ', la escala de la oblea, las estructuras 3D de diamantes disponibles en alturas de estructura y tonos diferentes de ingeniería acondicionadores pad CMP.

Acondicionadores de ADT pad función de las estructuras 3D altamente repetible diamante que crear una superficie con textura, estructura y muchas alturas y tonos diferentes puede ser manipulado fácilmente. Estos acondicionadores pad se fabrican utilizando técnicas de procesamiento de semiconductores altamente refinadas que permiten a ADT para ofrecer productos que son de una calidad mucho más alta que la actual generación de acondicionadores a precios competitivos.

"Los beneficios de una superficie de diamante micromecanizados incluyen un bajo desgaste y el patrón de diamante preciso, para satisfacer las demandas del nodo de 32 nm y más allá, lo cual puede resultar en CMP acondicionadores pad que duran más y funcionan mejor que los estándares actuales de la industria," dijo el Dr. . John A. Carlisle, director de tecnología de ADT.

"Con el fin de aumentar el potencial de magnitud en la vida para el acondicionador de plataforma, la frecuencia del cambio tanto en la almohadilla y acondicionador de pad se puede reducir, ahorrando tiempo y dinero", dijo la Dra. Diane P. Hickey, director de ventas y marketing, ADT. "Nuestra plataforma de acondicionadores pueden ser diseñadas y optimizadas para diferentes combinaciones de teclado lodo. Nos estamos asociando con la industria CMP para llevar esta tecnología emocionante mercado ".

ADT reconoce y agradece el programa de la NSF SBIR por patrocinar este trabajo.

Fuente: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 3. October 2011 03:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit