Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

ADT は新しいパッドのコンディショナーを開発するための SBIR の資金をしっかり止めます

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

高度のダイヤモンドの技術は (ADT)全米科学財団から半導体工業のための化学 (SBIR)機械 planarization のパッドのコンディショナー (NSF)の次世代を開発するために段階 I の (CMP)小企業の革新の研究助成金を受け取りました。

ADT の microfabricated ダイヤモンド CMP のパッドのコンディショナーの制御された幾何学的な突起はダイヤモンドの最高の化学 inertness を 「現在利用できるダイヤモンド CMP のパッドを特徴付けるなしで提供している間次世代の半導体デバイスの生産を引き出します」障害を可能にします。

異なった構造の高さでおよび設計された CMP のパッドのコンディショナーのためにピッチ使用できる高度の、ウエファーのスケール反復可能な、ダイヤモンドの技術非常に 3D ダイヤモンド構造の画像。

ADT のパッドのコンディショナーは織り目加工の表面を作成する、多くの異なった構造高さおよびピッチは容易に設計することができます非常に反復可能な 3D ダイヤモンドの構造を特色にし。 これらのパッドのコンディショナーは ADT がである競争価格でコンディショナーの現在の生成より大いに良質製品を提供することを可能にする非常に精製された半導体の加工の技巧を使用して製造されたです。

「micromachined ダイヤモンドの表面の利点最後の長いおよび現在の業界標準よりよく行う CMP のパッドのコンディショナーで起因できる 32 nm ノードの要求に応じるために模造する低い摩耗および精密なダイヤモンドを含み、向こう」、は先生を言いましたジョン A. カーライル、主な技術の将校、 ADT。

「パッドのコンディショナーのための一生の間に増加潜在的な一桁と、変更のパッドおよびパッドのコンディショナー両方の頻度は減らすことができます保存する時間およびお金」、先生を販売およびマーケティング、 ADT のディレクター言いましたダイアン P. Hickey。 「私達のパッドのコンディショナーは異なったパッドおよびスラリーの組合せのために設計され、最適化することができます。 私達は CMP の企業プレーヤーと販売するために組んでいますこのエキサイティングな技術を持って来るために」。

ADT は感謝してこの作業を後援するための NSF の SBIR プログラムを認めます。

ソース: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 12. January 2012 00:17

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit