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ADT는 새로운 패드 조절기 개발을 위한 SBIR 기금을 장악합니다

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

향상된 다이아몬드 기술은 (ADT) 국립 과학 재단에게서 단계 I 소기업 (SBIR) 혁신 반도체 (NSF) 산업을 위한 화학 기계적인 planarization 패드 조절기의 (CMP) 차세대를 개발하기 위하여 연구 보조금을 수신했습니다.

ADT의 microfabricated 다이아몬드 CMP 패드 조절기에 통제되는 기하학적인 돌출은 다이아몬드의 탁월한 화학 둔함을 "현재 가능한 다이아몬드 CMP 패드를 성격을 나타내는 없이 제안하고 있는 동안 차세대 반도체 소자의 생산을 떠납니다" 실패를 가능하게 합니다.

다른 구조물 고도에서 및 설계된 CMP 패드 조절기를 위해 피치 유효한 향상된, 웨이퍼 가늠자 반복 가능, 다이아몬드 기술 높게 3D 다이아몬드 구조물의 심상.

ADT의 패드 조절기는 짜임새 표면을 만드는 높게 반복 가능 3D 다이아몬드 구조물을 특색짓습니다, 많은 다른 구조물 고도 및 피치는 쉽게 설계되고. 이 패드 조절기는 ADT를 인 경쟁가격에 조절기의 현재 발생 보다는 매우 고품질의 제품을 제안하는 가능하게 하는 높게 세련한 반도체 가공 기술을 사용하여 제조 입니다.

"micromachined 다이아몬드 표면의 이득 마지막 더 긴에 의하여 및 현재 업계 표준 보다는 잘 능력을 발휘하는 CMP 패드 조절기 귀착될 수 있는 32 nm 마디의 요구에 응하기 위하여 모방하는 낮은 착용 및 정확한 다이아몬드를, 포함하고 저쪽에,"는 박사를 말했습니다 죤 A. Carlisle, 주요한 기술 장교, ADT.

"패드 조절기를 위한 일생에 있는 증가 잠재적인 크기 순서에, 변경 패드 및 패드 조절기 둘 다의 주파수는 감소될 수 있습니다, 저장 시간 및 돈," 박사를 판매와 매매, ADT의 디렉터 말했습니다 Diane P. Hickey. "우리의 패드 조절기는 다른 패드와 슬러리 조합을 위해 디자인되고 낙관될 수 있습니다. 우리는 CMP 기업 선수와 시장에 내놓기 위하여 이 활발한 기술을 가져오기 위하여 파트너가 되고 있습니다."

ADT는 고맙게 여기 이 일 후원을 위한 NSF의 SBIR 프로그램을 인정합니다.

근원: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 12. January 2012 00:19

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