ADT Beveiligt SBIR Fonds voor ontwikkeling van nieuwe Pad Conditioners

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Advanced Diamond Technologies (ADT) kreeg een Fase I Small Business Innovation Research (SBIR) subsidie ​​van de National Science Foundation (NSF) om de volgende generatie van chemische mechanische Vlak ontwerp (CMP) pad conditioners voor de halfgeleiderindustrie te ontwikkelen.

De gecontroleerde geometrische uitsteeksels op microfabricated diamant ADT's CMP pad conditioners in staat stellen de productie van de volgende generatie halfgeleiders, terwijl het aanbieden van de onovertroffen chemische inertie van de diamant, zonder de "pull out" storing die momenteel beschikbaar zijn diamant CMP pads te karakteriseren.

Afbeelding van Advanced Diamond Technologies 'zeer herhaalbare, wafer schaal, 3D-diamant structuren verkrijgbaar in verschillende hoogtes en structuur plaatsen voor ontworpen CMP pad conditioners.

ADT's pad conditioners functie zeer herhaalbare 3D-diamant structuren die een gestructureerd oppervlak te creëren, en vele andere structuur hoogtes en plaatsen kunnen gemakkelijk worden ontworpen. Deze pad conditioners zijn vervaardigd met behulp van zeer geraffineerde halfgeleider technieken die het mogelijk maken ADT op producten die zijn van veel hogere kwaliteit dan de huidige generatie conditioners tegen concurrerende prijzen te bieden.

"De voordelen van een micromachined diamant oppervlak onder lage slijtage en nauwkeurige diamant-patroon, aan de eisen van de 32 nm node en daarbuiten te ontmoeten, wat kan resulteren in CMP pad conditioners die langer meegaan en beter presteren dan de huidige industriële standaarden," aldus dr. . John A. Carlisle, chief technology officer, ADT.

"Met een potentiële orde van grootte toename in levensduur van de pad conditioner, de frequentie van zowel changing pad en pad conditioner kan worden verminderd, besparen tijd en geld", aldus dr. Diane P. Hickey, directeur verkoop en marketing, ADT. "Ons pad conditioners kunnen worden ontworpen en geoptimaliseerd voor verschillende pad en gier combinaties. We zijn samen met CMP industrie spelers om deze spannende technologie de markt te brengen. "

ADT zeer erkentelijk voor de NSF SBIR-programma voor de sponsoring van dit werk.

Bron: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 13. October 2011 12:59

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit