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ADT Fixa o Fundo de SBIR para Desenvolver Condicionadores Novos da Almofada

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

As Tecnologias Avançadas do Diamante (ADT) receberam uma Fase Mim Subsídio de investigação da Inovação da Empresa De Pequeno Porte (SBIR) Do National Science Foundation (NSF) para desenvolver a próxima geração de condicionadores mecânicos químicos (CMP) da almofada do planarization para a indústria do semicondutor.

As saliências geométricas controladas em condicionadores microfabricated da almofada do CMP do diamante de ADT permitem a produção de dispositivos de semicondutor da próxima geração ao oferecer o inertness químico absoluto do diamante sem “retiram” a falha que caracterizam actualmente almofadas disponíveis do CMP do diamante.

Imagem das estruturas Avançadas das Tecnologias do Diamante altamente repetíveis, da escala da bolacha, do diamante 3D disponíveis em alturas diferentes da estrutura e os passos para condicionadores projetados da almofada do CMP.

Os condicionadores da almofada de ADT caracterizam as estruturas altamente repetíveis do diamante 3D que criam uma superfície textured, e muitos alturas e passos diferentes da estrutura podem facilmente ser projectados. Estes condicionadores da almofada são manufacturados usando as técnicas de processamento altamente refinadas do semicondutor que permitem ADT de oferecer os produtos que são de muito mais de alta qualidade do que a geração actual de condicionadores a preços competitivos.

"Os benefícios de uma superfície micromachined do diamante incluem o baixo desgaste e o diamante preciso que modelam , para encontrar as procuras do nó de 32 nanômetro e além , que pode conduzir aos condicionadores da almofada do CMP que últimos mais longos e executam melhor do que os padrões do setor atuais , " disse o Dr. John A. Carlisle , oficial principal da tecnologia , ADT .

“Com um aumento potencial do ordem de grandeza na vida para o condicionador da almofada, a freqüência da almofada e do condicionador em mudança da almofada pode ser reduzida, tempo de salvamento e dinheiro,” disse o Dr. Diane P. Hickey, director das vendas e do mercado, ADT. “Nossos condicionadores da almofada podem ser projectados e aperfeiçoado para combinações diferentes da almofada e da pasta. Nós partnering com os jogadores da indústria do CMP para trazer esta tecnologia emocionante para introduzir no mercado.”

ADT reconhece grata o programa do SBIR do NSF para patrocinar este trabalho.

Source: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 12. January 2012 00:26

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