ADT Обеспечивает Фонд SBIR для Начинать Новые Проводники Пусковой Площадки

Published on July 15, 2010 at 1:48 AM

Предварительные Технологии Диаманта (ADT) получили дар Исследования Рационализаторства Мелкого Бизнеса Участка (SBIR) I от Национального фонда (NSF) для того чтобы начать следующее поколени химических механически проводников (CMP) пусковой площадки planarization для индустрии полупроводника.

Контролируемые геометрические выступания на проводниках пусковой площадки CMP диаманта ADT microfabricated включают продукцию полупроводниковых устройств следующего поколени пока предлагающ unsurpassed химическую инерционность диаманта без «вытягивают вне» отказ которые характеризуют в настоящее время доступные пусковые площадки CMP диаманта.

Изображение Предварительных структур Технологий Диаманта сильно repeatable, маштаба вафли, диаманта 3D доступных в различных высотах структуры и тангажей для проектированных проводников пусковой площадки CMP.

Проводники пусковой площадки ADT отличают сильно repeatable структурами диаманта 3D которые создают текстурированную поверхность, и много различных высоты и тангажей структуры можно легко проектировать. Эти проводники пусковой площадки изготовлены используя сильно уточненные методы обработки полупроводника которые позволяют ADT предложить продукты которые очень высокомарочного чем настоящее поколение проводников на конкурентоспособных ценах.

«Преимущества micromachined поверхности диаманта включают низкий износ и точный диамант делая по образцу, для того чтобы соотвествовать узла 32 nm и за пределами, который может привести к в проводниках пусковой площадки CMP которые последние длинние и выполняют более лучше чем настоящие индустриальные стандарты,» сказал Др. Джон A. Карлайл, главный офицер технологии, ADT.

«С потенциальным увеличением порядка величины в продолжительности жизни для проводника пусковой площадки, частоту изменяя и пусковой площадки и проводника пусковой площадки можно уменьшить, сохраняя время и деньги,» сказал Др. Диану P. Hickey, директор сбываний и маркетинга, ADT. «Наши проводники пусковой площадки можно конструировать и оптимизировать для различных комбинаций пусковой площадки и slurry. Мы будем партнером с игроками индустрии CMP для того чтобы принести эту exciting технологию для того чтобы выйти на рынок.»

ADT признательно подтверждает программу SBIR NSF для спонсировать эту работу.

Источник: http://www.thindiamond.com/

Last Update: 12. January 2012 00:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit