Meijo 대학에서 AIXTRON들을 안전하게 새로운 MOCVD 시스템 주문

Published on July 27, 2010 at 5:23 AM

AIXTRON AG는 오늘 한 닫기 결합 샤워기을위한 새로운 질서를 발표 나고야에서 Meijo 대학, 일본에서 설립 AIXTRON 고객의 기반 LED MOCVD 시스템을 GaN. 순서는 올해 초받은 후 시스템은 3x2 인치 웨이퍼 configuration.The 지역 AIXTRON 지원팀에서 2010 년 4 분기에 전달됩니다위원회 Meijo 대학에서 새로운 반응기 것입니다.

순서는 EpiCurveTT과 AIXTRON 아르고스의 원위치 도구가 모두 포함되어 있습니다. 후자는 실시간 표면 온도 측정 및 분석을 허용하고 완벽한 susceptor 온도 매핑에 사용할 수있는 유일한 열 파일링 장치입니다 새로운 멀티 채널 고온계입니다.

조교수 박사 모토 아키 이와 야의 코멘​​트 "Meijo 대학 슈퍼 에너지 절약, 하이 컬러 렌더링 특성, 수명 시간과 낮은과 조명과 bactericidal 광원에 대​​한 백색 발광 다이오드 (LED) UV - LED를 개발하기 위해 LED 협동 연구 센터를 설립 계획 비용. 이 센터는 선진 연구 기관으로 선정, 경제, 무역 및 산업 (METI)의 교육부에 의해 투자되었다. 센터는 공동 파트너 회사와 공유됩니다. 협력 회사 중 하나는, EL - SEED 주식 회사, Meijo 대학에서 시작 벤처 기업은 센터에서 새로운 에너지 및 산업 기술 개발기구 (NEDO)에서 지원하는 차세대 백색 LED의 연구 프로젝트를 실시합니다. 우리는 현재 시스템 AIX 4분의 200 RF - S와 함께 아주 행복했습니다. 또한, AIXTRON의 입증된 R & D 샤워기 시스템은 과거 자신의 위대한 확장성 및 샤워기 생산 시스템에 쉽게 처리 전송에 증명하고있다. 3x2 인치 시스템은 쉽게 둘 사이를 전환 우리를있게 -, 3 -, 4 인치 웨이퍼를 공정 조건의 주요 adaption없이. 모두, 우리는 AIXTRON MOCVD 시스템 GaN 기반 LED 개발의 어려운 작업을위한 최고라고 확신합니다. "

출처 : http://www.aixtron.com/

Last Update: 29. October 2011 00:21

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