AIXTRON獲得新的MOCVD系統整理名城大學

Published on July 27, 2010 at 5:23 AM

AIXTRON AG公司今天宣布了一項新秩序的一個關閉耦合花灑名城大學,名古屋,在日本建立了AIXTRON的客戶氮化鎵基LED MOCVD系統。接到命令今年早些時候,在一個 3x2英寸晶圓 configuration.The當地 AIXTRON的支持團隊,該系統將在2010年第四季度交付委員會名城大學在新的反應堆。

該訂單包括EpiCurveTT和AIXTRON的ARGUS原位工具。後者是一個新的多渠道,允許實時表面溫度的測量和分析,並是唯一的熱分析設備提供一個完整的基座溫度測繪的測溫儀。

副教授博士Motoaki岩屋的意見,“名城大學計劃建立LED合作研究中心開發超級節能,高顯色性的屬性,長壽命和低的白光LED和UV - LED的照明和殺菌光源成本。該中心已被選定作為一種先進的研究所,經濟,貿易和工業部(METI)資助。該中心將與合作夥伴共享協作。 EL種子公司,從名城大學啟動的合資公司,合作公司之一,將進行下一代白光LED新能源產業技術綜合綜合開發機構(NEDO)的中心支持的研究項目。我們一直很高興與我們現行的制度,一個 AIX 200 / 4 RF - S。此外,AIXTRON公認的研發花灑系統已經證明在過去的極大的可擴展性和簡單的過程轉移到生產系統花灑。 3 × 2英寸系統,使我們之間輕鬆切換 2 - 3 - 4英寸晶圓,沒有任何主要適應的工藝條件。總之,我們有信心,AIXTRON MOCVD系統是最好的GaN基LED的發展具有挑戰性的任務。“

來源: http://www.aixtron.com/

Last Update: 5. October 2011 23:38

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