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Posted in | Microscopy | Nanobusiness

Carl Zeiss Stellt Neue Gas-Einspritzungs-Anlage für ORION Plus Helium-IonenMikroskop vor

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

Carl Zeiss stellte heute eine neue Gas-Einspritzungs-Anlage für das ORION® Plus Helium-IonenMikroskop vor. Die Kombination eines Unternm (kleiner als 0.35nm) Fühlers der Edelgasionen mit einem kleinen Interaktionsvolumen an der Beispieloberfläche aktiviert in hohem Grade genaue Induktionschemie. Die resultierenden Zellen haben extrem kleine dimen- sions und hochrangige Treue. Diese Durchbruchtechnologie wird bei der Konferenz M&M 2010 in Portland, Oregon, 1.-5. August vorgestellt.

Dr. Paul Alkemade am Kavli-Institut der Nano-Wissenschaft, Delft-Technische Hochschule, ist einer der frühen Forscher in in der Ion-induzierten de- Stellung und der Radierung des Heliums. Nach Ansicht Dr. Alkemade, „das optimale Instrument für Nanofabrikation benötigt hohe Ortsauflösung und hohe Absetzungs-Leistungsfähigkeit. Glücklicherweise stellt der Heliumionenträger auf dem ORION Plus Instrument Auflösung für Absetzung zur Verfügung, die sogar besser als die ist, die durch ein Rasterelektronenmikroskop erzielt wird (SEM). Darüber hinaus liefert der Heliumionenträger Absetzungs-Leistungsfähigkeit, die denen sehr ähnlich sind, die mit einem schweren Ionenträgerinstrument des Ion (GA) erzielt werden (FIB) fokussierten. Mit der Integration einer Gas-Einspritzungs-Anlage, ist- das ORIONS-Helium-IonenMikroskop das rechte Instrument für Nanofabrikationsforschung.“

Die Bediengeräte für die Gas-Einspritzungs-Anlage (GIS) sind durch den ORION Plus Systemsoftware nahtlos integriert. Das GIS-Gerät enthält drei Tiegel, die zum Entbinden von Metall- und Isolatorabsetzung und von Isolatorätzungschemie fähig sind. Programmierbare Rezepte des Benutzers können erstellt werden und wieder aufgerufenes Zulassen komplexe Absetzungs- und Ätzungsprozesse. Die Gas-Einspritzungs-Anlage auf dem Orion Plus erstellt eine leistungsfähige und flexible Plattform, hochmoderne Nanofabrikationsanwendungen aktivierend.

Um mehr über diese aufregende Entwicklung zu lernen, besuchen Sie bitte Carl Zeiss SMT an Stand 1274 bei der Konferenz M&M 2010 in Portland, Oregon, oder bringen Sie Ihren Handelsvertreter Carl Zeisss SMT in Kontakt.

Last Update: 12. January 2012 06:01

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