Posted in | Microscopy | Nanobusiness

Carl Zeiss παρουσιάζει το νέο σύστημα έγχυσης για ORION Plus Ήλιο Ion μικροσκόπιο

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

Carl Zeiss παρουσίασε σήμερα ένα νέο σύστημα έγχυση αερίου για το ORION ® Plus ήλιο Ίων Μικροσκόπιο. Ο συνδυασμός ενός υπο-nanometer (λιγότερο από 0.35nm) καθετήρα αδρανούς αερίου ιόντα με μικρό όγκο αλληλεπίδραση στην επιφάνεια του δείγματος επιτρέπει την εξαιρετικά ακριβή χημείες επαγωγής. Η προκύπτουσα δομές έχουν πάρα πολύ μικρό διαστάσεις και υψηλή πιστότητα προφίλ. Αυτή η επαναστατική τεχνολογία αυτή, εγκαινιάζονται στο M & M Διάσκεψη του 2010 στο Πόρτλαντ του Όρεγκον, Αύγουστος 1-5.

Ο Δρ Πολ Alkemade στο Ινστιτούτο Kavli των νανοεπιστημών, Delft University of Technology, είναι ένας από τους πρώτους ερευνητές στην ηλίου ιόντων που προκαλείται από de-θέση και χαρακτική. Σύμφωνα με τον Δρ Alkemade, "Το ιδεώδες μέσο για την νανοκατασκευής απαιτεί τόσο υψηλή χωρική ανάλυση και υψηλή απόδοση εναπόθεσης. Ευτυχώς, ο δέσμης ιόντων ηλίου για την ORION Plus μέσο προβλέπει ψήφισμα για την απόθεση που είναι ακόμα καλύτερη από εκείνη που επιτυγχάνεται με ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης ( SEM). Επιπλέον, η δέσμη ιόντων Ήλιο προβλέπει βελτίωση της αποτελεσματικότητας εναπόθεσης ότι είναι πολύ παρόμοια με αυτές που επιτυγχάνονται με ένα βαρύ ιόντων (Ga) εστιασμένης δέσμης ιόντων (FIB) μέσο. Με την ενσωμάτωση ενός συστήματος έγχυσης του αερίου, το ORION Ήλιο Ion μικροσκόπιο αποδεικνύεται ότι είναι το κατάλληλο μέσο για την έρευνα νανοκατασκευής. "

Οι έλεγχοι για το σύστημα έγχυσης αερίου (GIS) συνεργάζονται άψογα με την ORION Plus λογισμικό του συστήματος. Η μονάδα ΓΣΠ περιέχει τρεις πυριαντήρια, ικανά να εκχέουν μέταλλο και μονωτής εναπόθεση και χημείες etch μονωτής. Προγραμματίζονται από το χρήστη συνταγές μπορούν να δημιουργηθούν και υπενθύμισε επιτρέπει πολύπλοκες εναπόθεσης και διεργασίες etch. Το σύστημα ψεκασμού αερίου για την Orion Plus δημιουργεί μια ισχυρή και ευέλικτη πλατφόρμα που επιτρέπει state-of-the-art εφαρμογές νανοκατασκευής.

Για να μάθετε περισσότερα σχετικά με αυτό το συναρπαστικό ανάπτυξης, επισκεφθείτε την Carl Zeiss SMT στο περίπτερο 1274 στο M & M Διάσκεψη του 2010 στο Πόρτλαντ του Όρεγκον, ή επικοινωνήστε με τον Carl Zeiss SMT σας αντιπρόσωπο πωλήσεων.

Last Update: 6. October 2011 18:38

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit