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カールツァイスはヘリウムイオン顕微鏡とオリオンのための新しいガスの注入システムをもたらします

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

カールツァイスは今日ヘリウムイオン顕微鏡と ORION® のための新しいガスの注入システムをもたらしました。 サンプル表面の小さい相互作用ボリュームとの不活性ガスイオンの副ナノメーターの (0.35nm よりより少し) プローブの組合せは非常に精密な誘導化学を可能にします。 生じる構造に非常に小さい dimen- の sions および話題の忠誠があります。 この進歩の技術はポートランド、オレゴン、 8 月 1-5 日の M&M 2010 年の会議でベールを取られています。

Nano 科学の Kavli の協会、デルフトの工科大学のポール Alkemade 先生は、ヘリウムのイオン誘発の非位置およびエッチングの早い研究者の 1 才です。 先生に従って Alkemade、 「nanofabrication のための最適器械は高い空間分解能および高い溶着率を両方必要とします。 幸いにも、器械とオリオンのヘリウムのイオンビームは走査型電子顕微鏡によって達成されるそれよりよい沈殿に解像度を提供します (SEM)。 さらに、ヘリウムのイオンビームは重いイオン (Ga) 集中されたイオンビームの器械によって達成されるそれらに非常に類似している溶着率を (FIB)提供します。 ガスの注入システムの統合によって、オリオンのヘリウムイオン顕微鏡は nanofabrication の研究のための右の器械であると証明しています」。

ガスの注入システムのための制御は (GIS)システム・ソフトウェアとオリオンを通して継ぎ目無く統合されています。 GI の単位は金属および絶縁体の沈殿および絶縁体の腐食化学を提供することができる 3 つのるつぼを含んでいます。 ユーザーのプログラム可能な調理法は複雑な沈殿および腐食プロセスを再呼び出しされた可能にすること作成し。 オリオンのガスの注入システムはと強力で、適用範囲が広いプラットホームを作成しま最新式の nanofabrication アプリケーションを可能にします。

このエキサイティングな開発についての詳細を学ぶためには、カールツァイス SMT をブース 1274 でポートランド、オレゴンの M&M 2010 年の会議で訪問するか、またはカールツァイス SMT の販売担当者に連絡して下さい。

Last Update: 12. January 2012 06:46

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