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Posted in | Microscopy | Nanobusiness

칼 Zeiss는 헬륨 이온 현미경 플러스 오리온을 위한 새로운 가스 주입 시스템을 소개합니다

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

칼 Zeiss는 오늘 헬륨 이온 현미경 플러스 ORION®를 위한 새로운 가스 주입 시스템을 소개했습니다. 견본 표면에 작은 상호 작용 양과의 비활성 기체 이온의 이하 나노미터 (0.35nm 보다는 더 적은) 탐사기의 조합은 높게 정확한 감응작용 화학을 가능하게 합니다. 유래 구조물에는 극단적으로 작은 dimen- sions 및 명확한 태도 절조가 있습니다. 이 돌파구 기술은 포틀란드, 오러곤, 8월 1-5일에 있는 M&M 2010년 회의에 밝혀지고 있습니다.

Nano 과학의 Kavli 학회, 기술의 델프트 대학에 폴 Alkemade 박사는, 헬륨에 의하여 이온 유도된 de position와 에칭에 있는 초기 연구원의 한살입니다. 박사에 따르면 Alkemade, "nanofabrication를 위한 최적 계기는 높은 공간적 해상도 및 높은 공술서 효율성을 둘 다 요구합니다. 다행히, 계기 플러스 오리온에 헬륨 이온살은 스캐닝 전자 현미경에 의해 달성된 그것 보다는 더 나은 조차 공술서를 해결책을 제공합니다 (SEM). 추가적으로, 헬륨 이온살은 무거운 이온 (Ga) 집중된 이온살 계기로 달성된 그들과 아주 유사한 공술서 효율성을 (FIB) 제공합니다. 가스 주입 시스템의 통합으로, 오리온 헬륨 이온 현미경은 nanofabrication 연구를 위한 맞은 계기인 것을 입증하고 있습니다."

가스 주입 시스템을 위한 통제는 (GIS) 시스템 소프트웨어 플러스 오리온을 통해서 이음새가 없 통합 입니다. GI 부대는 금속과 절연체 공술서와 절연체 식각 화학 전달 가능한 3개의 도가니를 포함합니다. 사용자 풀그릴 조리법은 복잡한 공술서와 식각 프로세스를 되불러진 허용 만들고. 오리온에 가스 주입 시스템은 플러스 강력하고 유연한 플래트홈을 만들어 최신식 nanofabrication 응용을 가능하게 하.

이 활발한 발달에 관하여 더 많은 것을 배우기 위하여는, 칼 Zeiss SMT를 부스 1274년에 포틀란드, 오러곤에 있는 M&M 2010년 회의에 방문하거나, 칼 Zeiss SMT 판매 대리를 접촉하십시오.

Last Update: 12. January 2012 07:29

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