Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Microscopy | Nanobusiness

Carl Zeiss Introduceert het Nieuwe Systeem van de Injectie van het Gas voor ORION Plus de IonenMicroscoop van het Helium

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

Carl Zeiss introduceerde vandaag een nieuw Systeem van de Injectie van het Gas voor ORION® Plus de IonenMicroscoop van het Helium. De combinatie van een sub-nanometer (minder dan 0.35nm) sonde van inert gasionen met een klein interactievolume aan de steekproefoppervlakte laat hoogst nauwkeurige inductiechemie toe. De resulterende structuren hebben uiterst kleine dimen- sions en hoge profieltrouw. Deze doorbraaktechnologie wordt onthuld op de Conferentie van M&M 2010 in Portland, Oregon, 1-5 Augustus.

Dr. Paul Alkemade bij het Instituut Kavli van Nano- wetenschap, de Universiteit van Delft van Technologie, is één van de vroege onderzoekers in helium ionen-veroorzaakte DEpositie en ets. Volgens Dr. Alkemade, het „Optimale instrument voor nanofabricatie vereist zowel hoge ruimteresolutie als hoge depositoefficiency. Gelukkig, verstrekt de ionenstraal van het Helium op ORION Plus instrument resolutie voor deposito dat nog beter is dan bereikte dat door een aftastenelektronenmicroscoop (SEM). Bovendien verstrekt de ionenstraal van het Helium depositoefficiency die aan bereikte die met een zwaar ionen (GA) geconcentreerd ionenstraalinstrument zeer gelijkaardig (FIB) is. Met de integratie van een Systeem van de Injectie van het Gas, is de IonenMicroscoop van het Helium ORION test om het juiste instrument voor nanofabricatieonderzoek te zijn.“

De controles voor het Systeem van de Injectie van het Gas (GIS) zijn foutloos geïntegreerd door ORION Plus systeemsoftware. De eenheid van GIS bevat drie smeltkroezen geschikt om metaal en isolatiedeposito te leveren en de isolatie etst chemie. Kunnen de programmeerbare recepten van de Gebruiker worden tot stand gebracht en en het herinnerde aan toestaan voor complex deposito processen etsen. Het Systeem van de Injectie van het Gas op Orion Plus leidt tot een krachtig en flexibel platform toelatend de toepassingen van de overzichtsnanofabricatie.

Om meer over deze opwindende ontwikkeling te leren, te bezoeken gelieve Carl Zeiss SMT bij cabine 1274 op de Conferentie van M&M 2010 in Portland, Oregon, of te contacteer uw vertegenwoordiger van Carl Zeiss SMT.

Last Update: 12. January 2012 05:57

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit