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Carl Zeiss Introduz o Sistema de Injecção Novo do Gás para ORION Mais o Microscópio de Íon do Hélio

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

Carl Zeiss introduziu hoje um Sistema de Injecção novo do Gás para o ORION® Mais o Microscópio de Íon do Hélio. A combinação de uma ponta de prova de secundário-nanômetro (menos do que 0.35nm) de íons do gás inerte com um volume pequeno da interacção na superfície da amostra permite química altamente precisas da indução. As estruturas resultantes têm sions do dimen- e a fidelidade extremamente pequenos do alto nível. Esta tecnologia da descoberta está sendo revelada na Conferência de M&M 2010 em Portland, Oregon, os 1-5 de agosto.

O Dr. Paul Alkemade no Instituto de Kavli da ciência Nano, Universidade Tecnológica da Louça de Delft, é um dos pesquisadores adiantados em de íon-induzido hélio posição e gravura a água-forte. De acordo com o Dr. Alkemade, “O instrumento o melhor para a nanofabricação exige a definição espacial alta e a eficiência de depósito alta. Felizmente, o feixe de íon do Hélio no ORION Mais o instrumento fornece a definição para o depósito que é mesmo melhor do que aquele conseguido por um microscópio de elétron da exploração (SEM). Além, o feixe de íon do Hélio fornece as eficiências de depósito que são muito similares àquelas conseguidas com um instrumento focalizado pesado do feixe de íon do íon (GA (FIB)). Com a integração de um Sistema de Injecção do Gás, o Microscópio de Íon do Hélio de ORION está provando ser o instrumento direito para a pesquisa da nanofabricação.”

Os controles para o Sistema de Injecção do Gás (GIS) são integrados sem emenda através do ORION Mais o software de sistema. A unidade dos SOLDADOS contem três cadinhos capazes de entregar o depósito do metal e do isolador e as química gravura em àgua forte do isolador. As receitas programáveis do Usuário podem ser criadas e permitir recordada processos complexos do depósito e gravura em àgua forte. O Sistema de Injecção do Gás no Orion Mais cria uma plataforma poderosa e flexível permitindo aplicações avançadas da nanofabricação.

Para aprender mais sobre esta revelação emocionante, visite por favor Carl Zeiss SMT na cabine 1274 na Conferência de M&M 2010 em Portland, Oregon, ou contacte seu representante de vendas de Carl Zeiss SMT.

Last Update: 12. January 2012 06:55

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