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卡尔蔡司推出新的天然气喷射系统欧丽安加氦离子显微镜

Published on August 2, 2010 at 4:21 AM

卡尔蔡司今天推出一个新的气体喷射系统,猎户座®加氦离子显微镜。一个亚纳米级(小于0.35nm)惰性气体离子探针与样品表面的小互动量的结合,使高度精确的感应化学物质。由此产生的结构有非常小的维度和知名度很高的保真度。这一突破性的技术正在推出在2010年的M&M在波特兰,俄勒冈州,8月1-5会议。

保罗博士​​在纳米科学Kavli研究所,代尔夫特理工大学,艾尔克梅德氦离子诱导的地位和蚀刻的早期研究者之一。据艾尔克梅德博士说,“纳米加工的最佳工具,既需要高空间分辨率和高熔敷效率。,幸运的是,对猎户座加仪器的氦离子束沉积,甚至是比扫描电子显微镜所取得更好的决议( SEM)此外,氦离子束沉积效率,实现了与重离子(GA)的非常相似,聚焦离子束(FIB)仪器。燃气喷射系统的整合,“猎户座”氦离子显微镜证明是正确的纳米加工研究仪器。“

注气系统(GIS)的控制是通过猎户座Plus系统软件的无缝集成。地理信息系统单元包含三个坩埚,能够提供金属和绝缘体沉积和绝缘体蚀刻化学。用户可编程的食谱可以创建并回顾允许复杂的沉积和蚀刻工艺。猎户座加气喷射系统,建立一个强大而灵活的平台,使国家的最先进的纳米加工应用。

要了解这一激动人心的发展,请访问卡尔蔡司SMT展位1274 2010年在俄勒冈州波特兰市,在M&M的会议或您的卡尔蔡司SMT销售代表联系。

Last Update: 24. October 2011 02:31

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