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Neue Familie der Elektronenmikroskop-Mähdrescher-UltrahochAuflösung und der Analytischen Leistung für die Breiteste Reichweite der Materialien

Published on August 2, 2010 at 9:34 AM

FEI-Firma (Nasdaq: FEIC), eine führende wissenschaftliche Instrumentierungsfirma, welche die Elektronenmikroskopanlagen für nanoscale Anwendungen über vielen Industrien, die Verfügbarkeit seines neuen Novas (TM) zur Verfügung stellt NanoSEM heute angekündigt 50 Reihe Ultrahochauflösungsscannenelektronenmikroskope (UHR SEMs). Es wird konstruiert, um Industrie-führende, Nmschuppe Auflösung und ultra-genaue Analyse auf der breitesten Musterkollektion zur Verfügung zu stellen. Anfangsversand werden für das vierte Quartal dieses Jahres geplant.

„Diese neueste Generation des gut eingerichteten Novas NanoSEM bietet eine eindeutige Kombination von den Fähigkeiten an, die durch jedes mögliches andere UHR SEM ungleich sind,“ sagte Abteilungsvizepräsidenten Georges Scholes, Forschung FEIS und Generaldirektor. „In einem Instrument, erhalten Sie Darstellung niederwerfen zur nmstufe, zum hohen Strahlstrom für schnelle und genaue Analyse und zur Grobvakuumfähigkeit, um die Reichweite der Beispielbaumuster zu erweitern und Vorbereitungsanforderungen herabzusetzen. Abnehmer müssen zwischen Ultrahochauflösung (an den Hochs und Tiefs KV) und analytischer Leistung nicht mehr wählen. Der Nova NanoSEM macht keinen Kompromiss--er entbindet beide in einer Anlage.“

Im Grobvakuum kann der Nova NanoSEM in hohem Grade isolierende Proben, bis fast zur gleichen Auflösung prüfen, die im Hochvakuum, mit weniger oder keiner Vorbereitung, dem Beseitigen von Artefakten und dem Sparen von Zeit erzielt werden kann.

Der Nova NanoSEM die Gestalten mit 50 Serien auf dem Erfolg von vorhergehenden Nova NanoSEM-Instrumenten und fügt technologische Innovationen von anderen Industrie-führenden Produktfamilien FEIS hinzu:

  • Er erbt seine nachgewiesenen Trägerverzögerungs- und -Grobvakuumfähigkeiten (einschließlich Schneckendetektor für ungleiche kontrastreiche, lärmarme Darstellung) vom Nova NanoSEMs der vorherigen Generation.
  • Seine integrierten Beispiel- u. Kammerreinigungslösungen, kritisch für niedrige hochauflösende Darstellung KV und seine hoch entwickelte und intuitive Beispielnavigation und Benutzerschnittstelle, debütiert auf den Quantümern (TM) und Magellan (TM) SEMs.
  • Und seine große allgemeinhinkammer, 16-Bit-Scan-Motor und spätesten Scannenstrategien sowie die Hochpräzision Stufe, wurden zuerst in den Nova- und HELIOS-(TM) NanoLab DualBeam (TM) Anlagen ausgefahren.
  • Der Nova NanoSEM 50 Serie führt eine neue Reihe von Detektoren ein, einziehbar und Inobjektiv, für optimiertes Sekundärelektron (SE), umgekehrtes Elektron (BSE) und ScannenTransmissions-Elektronenmikroskopie (STEM) Signalsammlung und -entstörung.

Der Nova NanoSEM 450 wird ideal für hoch entwickelte Materialkundeanwendungen entsprochen. Seine 110 mm-Stufe mit bis 75 Grad motorisierter Neigung nimmt eine große Auswahl von Stichprobengrößen und Konfigurationen an und ermöglicht umgekehrte Beugungsanalyse (EBSD) des Elektrons ohne vor-gekippte Halterungen.

Der Nova NanoSEM 650 bietet einer Hochpräzision piezoelektrische Stufe von 150 mm für die schnelle, genaue Navigation an und stellt 100 Prozent Dichte von Sechsinch Wafers oder Masken und erhebliche Dichte von Achtinch Proben bereit. Fasten der abdeckende Träger, integrierter 16-Bit-Mustergenerator, und eine Vielzahl von Trägerchemie für Eträger Absetzung, macht es Ideal für Erstausführungs- und Lithographieanwendungen. Beide Instrumente stellen 1 nm-Auflösung bei 15 KV, 1,4 nm bei 1 KV und Strahlströme bis zu Na 200 zur Verfügung.

Last Update: 12. January 2012 06:01

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