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最も広い範囲の材料のための電子顕微鏡のコンバインの超高度の解像度そして分析的なパフォーマンスの新しい系列

Published on August 2, 2010 at 9:34 AM

FEI の会社 (NASDAQ: FEIC)、新しい新星 (TM) のアベイラビリティを NanoSEM 今日発表される多くの企業を渡る nanoscale のアプリケーションに電子顕微鏡システムを提供している一流の科学的な器械使用の会社 50 の一連の超高度の解像度のスキャンの電子顕微鏡 (UHR SEMs)。 最も広い範囲のサンプルで工業一流の、ナノメータースケールの解像度および超精密な分析を提供することを設計します。 最初の郵送物は今年の第四四半期のために計画されます。

「確立した新星 NanoSEM のこの新しい世代他のどの UHR SEM によっても無比機能の一義的な組合せを提供します」はジョージ Scholes、 FEI の研究部の副大統領および総務部長を言いました。 「1 つの器械、サンプルタイプの範囲を拡張し、準備の条件を最小化するためにでナノメーターのレベル、速く、精密な分析および低い真空の機能のための高いビーム流れにイメージ投射をおろします得ます。 顧客は超高度の解像度 (高低 kV で) および分析的なパフォーマンスの間でもはや選択する必要がありません。 新星 NanoSEM は暗号漏洩をしません--それは渡します 1 つのシステムの両方を」。

低い真空では、新星 NanoSEM は準備、人工物を除去することおよび時間を節約することがほとんどない高真空で、達成することができる同じ解像度までほぼ非常に絶縁のサンプルを、検査できます。

新星 NanoSEM は FEI の他の工業一流の製品グループから新星の NanoSEM の前の器械の成功の 50 のシリーズ造り、技術革新を追加し:

  • それは前生成の新星 NanoSEMs からの証明されたビーム減速そして低い真空の機能を (無比の高対照、低雑音イメージ投射のためのを含む螺旋形の探知器) 受継ぎます。
  • 低い kV 高解像イメージ投射および量 (TM) および Magellan (TM) で SEMs デビューする高度および直観的なサンプル運行およびユーザー・インターフェースのためのその統合されたサンプル及び区域のクリーニングの解決、重大な。
  • そしてユニバーサル大きい区域、 16 ビットスキャンエンジンおよび最新のスキャンの作戦、また高精度の段階は新星および Helios (TM) NanoLab DualBeam (TM) システムで、最初に配置されました。
  • 新星 NanoSEM は 50 のシリーズ探知器の新しい組を、引き込み式および内部レンズ、最適化された二次電子のために、 (SE) backscattered 電子 (BSE)、およびスキャンの透過型電子顕微鏡のシグナルの (STEM)コレクションおよびフィルタに掛けること導入します。

新星 NanoSEM 450 は先端材料科学アプリケーションに理想的に適します。 75 程度によってモーターを備えられる傾きまでののその 110 の mm の段階はサンプルの大きさおよび構成の広い範囲を受け入れ、前傾けられたホールダーなしで電子によって (EBSD)バック分散させる回折の分析を可能にします。

新星 NanoSEM 650 は 6 インチウエファーまたはマスクの 100 パーセントの適用範囲、および 8 インチのサンプルの相当な適用範囲を提供する速く、精密な運行のための高精度の 150 の mm の圧電気の段階を提供します。 、統合された 16 ビットのパターン・ジェネレータはブランクにするビーム絶食し、 e ビーム沈殿のためのいろいろなビーム化学は、それにプロトタイピングおよび石版印刷アプリケーションのための理想をします。 器械は両方とも 15 の kV の 1.4 nm、および 200 nA まで 1 つの kV のビーム流れで 1 つの nm の解像度を提供します。

Last Update: 12. January 2012 06:46

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