Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

發明可能幫助淨化做的半導體進程

Published on August 4, 2010 at 8:26 PM

因為汙染物僅僅跟蹤可能損壞或破壞微小的設備,成份純度是半導體行業的恆定的關心。 在往解決一個長年的問題的一個步驟在半導體製造中, JILA 的科學家和合作者使用他們的 「細齒梳子的」唯一版本檢測汙染物分子詳細的跟蹤在用於的胂氣體的做各種各樣的 photonics 設備。

JILA 是國家標準技術局 (NIST) 和科羅拉多大學一所聯合學院在巨石城 (古芝)。 這個研究開展了與從 NIST 的巨石城校園和 Matheson 三氣體 (Longmont,科羅拉多) 的合作者。

NIST 發明可能幫助淨化做的用於設備的半導體一個進程例如發光二極管 (LEDs)。 ©Igor Stepovik/禮貌 Shutterstock

這個研究,描述在一份新的文件, * 使用了稱洞改進的直接頻率梳子分光學的一個 NIST/CU 發明 (CE-DFCS)。** 它包括為準確生成不同的顏色或者頻率的一個光學頻率梳子工具,輕適應同時分析多種原子和分子數量、結構和動力。 這個技術提供速度、區分、特異性和清楚的頻率覆蓋範圍的一個唯一組合。

半導體行業為發光二極管、太陽能細胞和激光二極管長期努力查找水和其他雜質跟蹤在 III-V (LEDs) 半導體中製造的胂氣體用於 DVD 機。 汙染物可能修改半導體的電子和光學性能。 例如,水蒸氣可能添加氧氣到物質,減少設備亮光和可靠性。 水跟蹤是難識別在胂,吸收在複雜的光,在一個清楚的頻率範圍間的擁塞模式。 多數分析技術有重大的缺點,例如大和複雜設備或一個縮小的頻率範圍。

JILA 梳子系統,以前被展示作為一個 「呼吸試驗」檢測的疾病 ***,最近被升級到光存取長波長,水嚴格吸收,并且胂不,更好識別這杯水。 新的論文在一種行業應用描述梳子系統的第一演示。

在 JILA 實驗,胂氣體在它 「由光脈衝梳」的一個光共振腔安置了。 原子和分子在這個洞裡面吸收了若乾光能以他們切換能級,振動或者轉動的頻率。 在交往前後,梳子的 「齒」用於精密地評定強度紅外線燈不同的樹蔭。 通過檢測哪些顏色被吸收了和在什麼金額被符合已知的吸收簽名目錄不同的原子和分子這研究員的可能評定水含量到非常低水平。

每胂十億個分子的 10 個水分子可能導致半導體缺陷。 研究員檢測了水在 7 個分子的級別每十億的在氮氣氣體和在每十億的 31 個分子在胂。 研究員在擴大梳子系統進一步到紅外線和爭取現在從事部件每兆區分的。

這個研究由科學研究、國防高級研究計劃局、辯護威脅減少機構、 Agilent 技術和 NIST 空軍辦公室資助。

* K.C. Cossel, F. Adler, K.A. Bertness, M.J. 索普, J. Feng, M.W. Raynor, J. Ye。 2010年. 對在半導體氣體的跟蹤雜質的分析通過洞改進的直接頻率梳子分光學。 應用物理學 B. Published 在線 7月 20日。

** 美國專利號 7,538,881 : 敏感,大量並行,清楚帶寬,實時分光學,發行在 2009年 5月, NIST 關稅完稅証第 06-004,古芝技術轉讓案件編號 CU1541B。 准許權利在古芝被統一了。

*** 看見 「光學 ` 頻率梳子』可能檢測疾病呼吸」,在 NIST 技術敲打 2008年 2月 19日,在 www.nist.gov/public_affairs/techbeat/tb2008_0219.htm#comb

Last Update: 26. January 2012 03:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit