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Posted in | Nanoanalysis | Nanobusiness

Eulitha Introduce las Rejillas Profundamente Grabadas El Ácido para las Aplicaciones de la Espectroscopia

Published on August 13, 2010 at 2:28 AM

Las redes difractoras de la Transmisión se requieren en muchos proyectos de la investigación y desarrollo tales como caracterización de las fuentes de luz de EUV o los experimentos de la espectroscopia en el EUV colocan.

Debido a la alta amortiguación por todos los materiales en este rango espectral (áspero 5-20 nanómetro) las rejillas se deben hacer en las membranas finas y las ranuras deben tener amortiguación insignificante. Tener prolongada experiencia en la fabricación de las rejillas Eulitha de la transmisión de EUV ahora está ofreciendo las rejillas profundamente grabadas el ácido para las aplicaciones de la espectroscopia.

Imagen de SEM de una rejilla del período de 1m m grabada el ácido en una membrana del nitruro de silicio. El corte transversal de esta rejilla se muestra en la inserción.

Las rejillas se diseñan según los pliegos de condiciones del cliente, e.g talla, grosor de línea y tono grating. La estabilidad y la durabilidad mecánicas de las membranas son aseguradas por (CA 20nm) una capa extremadamente fina del nitruro de silicio dejada unetched en las ranuras y una estructura de la barra transversal. Nuestros procesos y experiencia maduros en el tramitación de las membranas extremadamente frágiles nos permite ofrecer las rejillas de alta calidad en los precios asequibles.

Eulitha es un pionero y un arranque de cinta en la producción de nanostructures de alta calidad usando técnicas avanzadas de la litografía. Ofrecemos nanostructures por encargo y estandardizados con la resolución que extiende hacia abajo a la región de sub-20 nanómetro.

La fabricación de Eulitha para los nanostructures periódicos se basa en su tecnología Ultravioleta Extrema récord de la litografía EUV-IL de la Interferencia. El método utiliza la luz en una longitud de onda de cerca de 13 nanómetro. Eulitha fabrica rejillas lineales unidimensionales y las matrices o las matrices bidimensionales del punto por EUV-IL

Fuente: Eulitha

Last Update: 12. January 2012 04:56

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