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Posted in | Nanoanalysis | Nanobusiness

Eulitha lance profonde Caillebotis gravé pour les applications de spectroscopie

Published on August 13, 2010 at 2:28 AM

Réseaux de diffraction de transmission sont nécessaires dans de nombreuses recherches et projets de développement tels que la caractérisation des sources de lumière EUV ou des expériences de spectroscopie dans la gamme EUV.

En raison de forte absorption par tous les matériaux dans cette gamme spectrale (environ 50 à 20 nm) les grilles doivent être faites sur les membranes minces et les fentes doivent avoir une absorption négligeable. Ayant une longue expérience dans la fabrication de la transmission du caillebotis Eulitha EUV offre maintenant profondément gravé grilles pour les applications de spectroscopie.

Image MEB d'un réseau période de 1mm gravé dans une membrane de nitrure de silicium. La section transversale de ce réseau est montré dans l'encart.

Les caillebotis sont conçus selon les spécifications du client, par exemple la taille, la largeur de raie et de pas de réseau. La stabilité mécanique et la durabilité des membranes est assurée par une couche extrêmement fine (20nm environ) de nitrure de silicium laissé non gravée dans les fentes et d'une structure transversale. Nos processus de maturité et d'expertise dans le traitement des membranes extrêmement fragile nous permet d'offrir de haute qualité à des prix abordables caillebotis.

Eulitha est un pionnier et un leader dans la production de haute qualité en utilisant des techniques de lithographie nanostructures avancées. Nous offrons des nanostructures sur mesure et standardisées avec une résolution prolongeant vers le bas pour la région sub-20 nm.

De fabrication pour Eulitha nanostructures périodiques est basée sur son record Interférence ultraviolet lithographie EUV Extreme-IL technologie. La méthode utilise une lumière à une longueur d'onde d'environ 13 nm. Eulitha fabrique unidimensionnelle grilles linéaires et matrices de points en deux dimensions ou des grilles par EUV-IL

Source: Eulitha

Last Update: 3. October 2011 04:50

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