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Technologien des Diamant-sp3 Führt Neuesten Heiß-Faden CVD-Diamant-Reaktor ein

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Diamond Technologies, Inc. (sp3), ein führender Lieferant von Diamantprodukten, Gerät und Dienstleistungen, führte heute seinen neuester Heißfaden chemischen Bedampfen- (CVD)Diamantreaktor, das Baumuster 665 ein.

Die neue Doppel-kammer Anlage kann bis achtzehn 100 Mmdurchmesser Substratflächen auf einmal anpassen und eine 100-Prozent-Zunahme des Absetzungsbereiches über dem einzelnen Kammerbaumuster der Firma darstellen. Das Baumuster 665 verringert beträchtlich Kosten des Besitzes, (COO) indem es verdoppelt Systemdurchsatz beim Entbinden der identischen CVD-Diamantfilmeigenschaften, der Absetzungskinetik und der Prozesseinheitlichkeit als der Reaktor die Einzelkammer der Firma.

Kundennachfrage nach effizienten, unteren COO-Plattformen für Massenproduktion trieb Entwicklung der höheren Durchsatzanlage. Schlüsselmärkte, die sich schnell in Richtung zur vollen Kommerzialisierung bewegen, umfassen chemische mechanische planarization (CMP) Auflagensignalformer und Diamant-überzogene Elektroden für Wasserbehandlung. Das Baumuster 665 dient als Plattform für die Entwicklung sogar der Großserienabscheideanlage, die den Gebrauch der Diamantzwischenlagen auf Halbleiterwafer anvisiert.

„CVD-Diamantfilme bewegen sich in volle Kommerzialisierung,“ sagte Dwain Aidala, Präsident und COO von Technologien des Diamant-sp3. „Schuppe und Durchsatz sind jetzt kritisch, da der inhärente Nutzen des Diamanten unbestritten geworden ist und verschieben ihn vom R&D und von der Versuchsfertigung in Volumenherstellung in etwas Wachstumsgebieten des starken Wachstums. Wenn die mehreren Abnehmer Herstellung erhöhen, von den Produkten, die CVD-Diamanten enthalten, ist unsere Fähigkeit, eine hohe Produktivitätsabsetzungsplattform zu entbinden ein wirklich eindeutiges Angebot im Markt.“

CVD-Diamant ist ein ideales Material für die CMP-Auflagensignalformer wegen seiner Abnützungseigenschaften, chemischen Untätigkeit und Reichweite der abschleifenden Eigenschaften. CMP-Gebrauch entwickelt sich in der Halbleiterherstellung im Hinblick auf die Anzahl von Prozessschritten unter Verwendung CMP, die zunehmende Anzahl von Aufdampfenschichten und die Anzahl von den Materialien, die Polier sind. Diese Faktoren treiben die Anforderung für CVD, der Diamant-basiert ist, das klimatisierend, entbindet feinere Linienbreiten und Kompatibilität mit der zunehmenden Komplexität von Schlämmen und von Auflagenbeschaffenheiten.

Ein Anderer Markt, der schnelles Wachstum in der Annahme von CVD-Diamanten gesehen hat, ist Diamant-überzogene Elektroden für Wasserbehandlung. In Zunehmendem Maße werden diese Elektroden in den Brauchwasserbehandlungsteildiensten und in den Filtrationsanlagen, in denen die chemische Untätigkeit und die Fähigkeit des Diamanten, selektiv lackiert zu werden lange Lebensdauer aktivieren, Anlagen der hohen Zuverlässigkeit eingeführt.

Über das Baumuster 665

Die neue Doppelkammerkonfiguration des Baumusters 665's entbindet die gleichen Merkmale und Nutzen von sp3, das, die nachgewiesenen Reaktoren aktuell ist und umfaßt: ausgezeichnete Diamantstärkeeinheitlichkeit, hoher Durchsatz, außergewöhnliche Prozesswiederholbarkeit, genaue Operation der prozesskontrollierten und niedrigen Kosten. Die Kosten des Baumusters 665 kleiner als 40 Prozent mehr als die Anlage des Baumusters 650 bei der Verdoppelung des Durchsatzes, beträchtlich sich verringern COO.

Die zwei Absetzungskammern im Baumuster 665 führen immer den gleichen Prozess aus, wenn dem Prozesscontroller und verbundene das Elektronik-, Gasverteilungssystem- und Druck(Vakuum dienen), Kontrollsystem gleichzeitig die zwei Kammern, für Diamantabsetzung. Die Gas- und Vakuumrohrleitung sind konstruiert worden, um Druck- und Gasfluß zwischen die Kammern genau auszugleichen und genaue Wiederholung von Absetzungsprozessen in jeder Kammer erlaubt. Die neue Doppelkammeranlage verwendet vorhandene Absetzungsrezepte, mit nur geringer Pumpe unten/kühlt unten Schrittzeitmodifikationen ab.

Operation der Doppelkammerkonfiguration ist zu der des Baumusters 650 Serie identisch, außer dass zwei Kammern werden belastet und aus dem Programm genommen für Absetzung anstelle einer einzelnen Kammer und der Benutzerschnittstelle zeigt zwei Kammern an. Alle Prozesskontrollen - Gasregelung, Druckregelung, Prozessrezeptschaffung und -operation, Usw. - sind die selben, wie die Sicherheitsmerkmals- und -datenerfassungsfähigkeiten.

Technologien des Diamant-sp3 stellt die CVD-Absetzungsreaktoren und Diamant-basierte Lösungen zur Verfügung für thermisches Management der Elektronik und erhöht sind, Oberflächen zu den Firmen, über ein breites Spektrum von Industrien weltweit schneiden. Indem es Waferschuppe Diamant-aufsubstratfläche Produkt und Service liefert, die Nano-- und mikrokristalline Diamantmorphologie verwenden, erweitert sp3 die Handelsreichweite polykristallinen CVD-Diamanten.

sp3 versteht Diamanten und Herstellungsgerät sowie den Kosten-, Zuverlässigkeits- und Qualitätsbedarf seiner Abnehmer. Zusätzlich zum Ausführen seiner eigenen CVD-DiamantProduktionsanlagen, ist sp3 eindeutig, wenn es seine heißen Faden CVD-Reaktoren verkauft, also können Abnehmer ihren eigenen CVD-Diamanten in-house herstellen.

Im Jahre 1993 Gegründet und in Santa Clara Hauptsitz gehabt, ist Kalifornien, USA, Technologien des Diamant-sp3 eine Tochtergesellschaft von sp3 Inc., ein privates, Volldienstleister von Produkt und Service in Bezug auf Dünnschichtdiamantabsetzung und polykristalline Diamantdickschichtmaterialien. sp3 Inc. und seine Einsatzkräfte haben Diamanten ein über anderthalb Million Schneidwerkzeugen abgegeben und beendete mehr erfolgreiche Absetzung des Diamanten als 18.000 wird ausgeführt.

Last Update: 12. January 2012 20:43

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