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sp3 Diamond Technologies presenta el más reciente en caliente filamento de diamante CVD Reactor

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Diamond Technologies, Inc. (SP3) , un proveedor líder de productos de diamante, equipos y servicios, ha presentado hoy su nuevo filamento caliente deposición de vapor químico (CVD) de reactor de diamantes, el modelo 665.

El nuevo sistema de doble cámara con capacidad para dieciocho 100 mm de diámetro sustratos a la vez, lo que representa un aumento del 100 por ciento en el área de deposición sobre el modelo de la compañía de una cámara. El modelo 665 reduce significativamente el coste de propiedad (COO), duplicando el rendimiento del sistema al tiempo que ofrece la ECV características idénticas película de diamante, la tasa de deposición y la uniformidad en el proceso de una sola cámara del reactor de la empresa.

Demanda de los clientes para una eficiente, Director de Operaciones de plataformas bajas el volumen de producción impulsaron el desarrollo del sistema de mayor rendimiento. Los principales mercados que se están moviendo rápidamente hacia la plena comercialización incluyen planarization mecánico químico (CMP) acondicionadores de almohadilla y con recubrimiento de diamante electrodos para tratamiento de agua. El modelo 665 servirá como una plataforma para el desarrollo de equipos aún mayor depósito de volumen definido el uso de láminas de diamante en obleas de semiconductores.

"ECV películas de diamante se están moviendo hacia la plena comercialización", dijo Dwain Aidala, presidente y COO de SP3 Diamond Technologies. "La escala y el rendimiento son ahora críticos como los beneficios inherentes de diamantes se han hecho bien reconocido, moviéndolo desde la I + D y la etapa piloto de producción en volumen de fabricación en algunas áreas de alto crecimiento. Con varios clientes incrementando la fabricación de productos que incorporan diamantes CVD, nuestra capacidad de ofrecer una plataforma de productividad alta deposición es una oferta única en el mercado ".

El diamante CVD es un material ideal para CMP acondicionadores pad debido a su resistencia al desgaste, inercia química y la gama de características abrasivas. CMP está aumentando el uso en la fabricación de semiconductores en función del número de pasos del proceso con CMP, el aumento del número de capas de metalización y el número de materiales que están siendo pulidas. Estos factores están impulsando la necesidad de diamante CVD basados ​​acondicionado que ofrece anchos de línea más fina y la compatibilidad con la creciente complejidad de los lodos y las texturas pad.

Otro mercado que ha experimentado un rápido crecimiento en la adopción de diamante CVD es el diamante recubierto de electrodos para el tratamiento del agua. Cada vez más, estos electrodos están llevando a cabo en las instalaciones industriales de tratamiento de agua y sistemas de filtración en la inercia química del diamante y la capacidad de ser selectivamente dopado permiten una larga vida útil, los sistemas de alta fiabilidad.

Acerca del modelo 665

El nuevo modelo 665 de configuración de doble cámara ofrece las mismas características y beneficios de la actual SP3, reactores constatadas, que incluyen: una excelente uniformidad de espesor de diamante, de alto rendimiento, repetición del proceso excepcional, preciso control del proceso y operación de bajo costo. El modelo 665 cuesta menos de 40 por ciento más que el Modelo 650 del sistema, mientras que duplicar el rendimiento, disminuyendo significativamente COO.

Las dos cámaras de deposición en el modelo 665 siempre se corre el mismo proceso, con el controlador de proceso y su electrónica asociada, el sistema de distribución de gas y la presión (vacío) sistema de control que sirve simultáneamente a las dos cámaras para la deposición de diamante. El gas y las tuberías de vacío han sido diseñados para equilibrar con precisión la presión y el flujo de gas entre las cámaras, lo que permite una reproducción exacta de los procesos de deposición de cada cámara. El nuevo sistema de doble cámara utiliza las recetas existentes de deposición, con bomba de menor importancia hacia abajo / tiempo de enfriamiento paso a modificaciones.

El funcionamiento de la configuración de doble cámara es idéntica a la del modelo 650 series, excepto que dos cámaras están cargadas y descargadas en el depósito en lugar de una sola cámara y la interfaz de usuario muestra dos cámaras. Todos los controles de procesos - control de gases, control de presión, el proceso de creación de la receta y el funcionamiento, etc - son los mismos, así como las características de seguridad y capacidades de registro de datos.

sp3 Diamond Technologies proporciona los reactores de deposición de ECV y el diamante basado en soluciones para la gestión térmica y la electrónica mejorada superficies de corte a las empresas en todo el mundo, a través de un amplio espectro de industrias. Mediante el suministro de obleas de escala de diamantes en sustrato de productos y servicios utilizando nano y la morfología del diamante microcristalina, sp3 es ampliar el alcance comercial de policristalino de diamante CVD.

sp3 entiende diamante y equipos de fabricación, así como las necesidades de costo, la confiabilidad y la calidad de sus clientes. Además de dirigir su propio diamante CVD instalaciones de fabricación, sp3 es único en la venta de su filamento caliente reactores de CVD para que los clientes pueden fabricar su propio diamante CVD de la casa.

Fundada en 1993 y con sede en Santa Clara, California, EE.UU., sp3 Diamond Technologies es una filial de Service Pack 3 Inc., una empresa privada, proveedor de servicios completos de productos y servicios relacionados con la deposición de película delgada de diamante y de película gruesa materiales de diamante policristalino . sp3 Inc. y sus unidades operativas han depositado diamante en más de un millón y medio de herramientas de corte y terminado más de 18.000 depósitos de diamantes se ejecuta con éxito.

Last Update: 9. October 2011 10:57

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