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le Tecnologie del Diamante sp3 Presenta il Più Nuovo Reattore del Diamante di CVD del Piccante-Filamento

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Diamond le Technologies, Inc. (sp3), un fornitore principale dei prodotti del diamante, attrezzature e servizi, oggi ha presentato il suo reattore chimico del diamante di applicazione a spruzzo (CVD) del più nuovo piccante-filamento, il Modello 665.

Il nuovo sistema della doppio-camera può accomodare fino a diciotto 100 substrati del millimetro-diametro per volta, rappresentando un aumento di 100 per cento nell'area del deposito sopra il singolo modello della camera della società. Il Modello 665 diminuisce significativamente il costo della proprietà (COO) raddoppiando la capacità di lavorazione di sistema mentre consegna le caratteristiche della pellicola del diamante di CVD, la tariffa di deposito e l'uniformità identiche di trattamento come il reattore unicamerale della società.

La domanda di Cliente delle piattaforme efficienti e più basse del COO per produzione in volume ha determinato lo sviluppo di più alto sistema di capacità di lavorazione. I servizi Chiave che stanno avanzando rapido verso la commercializzazione completa includono i condizionatori meccanici chimici (CMP) del cuscinetto di planarization e gli elettrodi diamante-rivestiti per il trattamento delle acque. Il Modello 665 servirà da piattaforma per lo sviluppo ancora della strumentazione più in grande quantità del deposito che mira all'uso degli strati intermedi del diamante sui wafer a semiconduttore.

“Le pellicole del diamante di CVD stanno entrando nella commercializzazione completa,„ ha detto Dwain Aidala, Presidente e COO delle Tecnologie del Diamante sp3. “Il Disgaggio e la capacità di lavorazione ora sono critici poichè i vantaggi inerenti del diamante sono diventato incontestati, entrandolo dalla R & S e dalla fase di produzione pilota nella fabbricazione del volume in alcune aree di crescita elevata. Con i clienti multipli che dilagano la fabbricazione dei prodotti che incorporano il diamante di CVD, la nostra capacità di consegnare un'alta piattaforma del deposito di produttività è un'offerta vero unica nel mercato.„

Il diamante di CVD è un materiale ideale per i condizionatori del cuscinetto del CMP dovuto le sui caratteristiche di usura, inerzia chimica ed intervallo delle caratteristiche abrasive. L'uso del CMP sta intensificando nella fabbricazione a semiconduttore in termini di numero dei punti trattati facendo uso del CMP, il numero aumentante della metalizzazione mette a strati ed il numero dei materiali che sono lucidati. Questi fattori stanno determinando il requisito di CVD basato a diamante condizionando quello consegna la riga più fine larghezze e la compatibilità con la complessità aumentante dei residui e delle tessiture del cuscinetto.

Un Altro servizio che ha veduto la crescita rapida nell'approvazione del diamante di CVD è elettrodi diamante-rivestiti per il trattamento delle acque. Sempre Più, questi elettrodi stanno applicandi negli impianti di trattamento delle acque e nei sistemi industriali in cui l'inerzia e la capacità chimiche del diamante essere verniciato selettivamente permettono alla lunga vita, sistemi di filtrazione di alta affidabilità.

Circa il Modello 665

La nuova configurazione doppia della camera del Modello 665's consegna le stessi funzionalità e vantaggi di sp3 corrente, reattori provati, includenti: uniformità eccellente di spessore del diamante, alta capacità di lavorazione, ripetibilità trattata eccezionale, controllo dei processi preciso ed operazione di basso costo. I costi del Modello 665 di meno di 40 per cento più del sistema del Modello 650 mentre raddoppiando la capacità di lavorazione, COO significativamente diminuente.

Le due camere del deposito nel Modello 665 eseguono sempre lo stesso trattamento, con il regolatore trattato e l'elettronica, il sistema di distribuzione di gas ed il sistema di controllo associati di pressione (vuoto) serventi simultaneamente le due camere per il deposito del diamante. L'impianto idraulico di vuoto e del gas è stato destinato per compensare esattamente la pressione ed intossicare il flusso fra le camere, permettendo la replica esatta dei trattamenti del deposito in ogni camera. Il nuovo sistema doppio della camera usa le ricette attuali del deposito, con soltanto la pompa secondaria giù/raffredda le modifiche di punto-tempo.

L'Operazione della configurazione doppia della camera è identica a quella del Modello 650 serie salvo che due camere sono caricate e scarico per il deposito invece di singola camera e dell'interfaccia utente video due camere. Tutti controlli dei processi - controllo di gas, controllo della pressione, creazione ed operazione trattata di ricetta, Ecc. - sono gli stessi, come sono le capacità della registrazione delle funzionalità e di dati della sicurezza.

le Tecnologie del Diamante sp3 fornisce i reattori del deposito di CVD ed alle le soluzioni basate a diamante per la gestione termica di elettronica e migliorati tagliando le superfici alle società universalmente, attraverso una vasta gamma di industrie. Assicurando i prodotti ed i servizi del diamante-su-substrato del wafer-disgaggio che utilizzano la morfologia nana e microcristallina del diamante, sp3 sta ampliando l'estensione commerciale del diamante policristallino di CVD.

sp3 capisce il diamante e la produzione di attrezzature come pure i bisogni di costo, dell'affidabilità e di qualità dei sui clienti. Oltre a dirigere le sue proprie istallazioni industriali del diamante di CVD, sp3 è unico nella vendita dei sui reattori caldi di CVD del filamento in modo dai clienti possono fabbricare il loro proprio diamante di CVD in-house.

Fondato nel 1993 ed acquartierato a Santa Clara, la California, U.S.A., le Tecnologie del Diamante sp3 è una consociata di sp3 Inc, un fornitore di servizio privato e pieno di prodotti e servizi concernente il deposito di sottili pellicole del diamante ed i materiali policristallini del diamante della spesso-pellicola. sp3 Inc e le sue unità operative hanno depositato il diamante sopra oltre uno e mezzo milione utensili per il taglio e più del riuscito deposito completato del diamante 18.000 funziona.

Last Update: 12. January 2012 20:48

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