sp3 ダイヤモンドの技術は最も新しい熱フィラメント CVD のダイヤモンドリアクターを導入します

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Diamond Technologies の Inc. (sp3)、ダイヤモンドの製品、装置およびサービスの一流の製造者は、今日最も新しい熱フィラメントの化学気相堆積のダイヤモンド (CVD)リアクター、モデル 665 を導入しました。

新しい二重区域システムは 18 までの 100 つの mm 直径の基板を一度に取り扱うことができま会社の単一区域モデル上の沈殿領域の 100% 増加を表します。 モデル 665 はシステム・スループットの倍増によってかなり (COO)所有権のコストを削減します同一の CVD のダイヤモンドのフィルムの特性、溶着速度およびプロセス均等性を会社の単一区域リアクターとして提供している間。

大量生産の効率的で、より低い COO のプラットホームのための顧客需要はより高いスループットシステムの開発を運転しました。 完全な商業化の方に急速に移動している主市場は水処理のための化学 (CMP)機械 planarization のパッドのコンディショナーそしてダイヤモンド上塗を施してある電極を含んでいます。 モデル 665 は半導体ウエハーのダイヤモンドの中間膜の使用を目標とする大量の沈殿装置の開発のためのプラットホームとして役立ちます。

「CVD ダイヤモンドフィルム完全な商業化に移動しています」、は Dwain Aidala、大統領そして sp3 ダイヤモンドの技術の COO を言いました。 「ダイヤモンドの固有の利点が十分認識されるようになったのでスケールおよびスループットは今重大で、それをある高い成長領域のボリューム製造業に R & D および試験生産段階から移動します。 CVD のダイヤモンドを組み込む製品の製造業を ramping 多重顧客が高い生産性の沈殿プラットホームを提供する私達の機能はです市場の偽りなく一義的な提供」。

CVD のダイヤモンドは研摩の特性の摩耗の特性、化学 inertness および範囲による CMP のパッドのコンディショナーのための理想的な材料です。 CMP の使用は CMP を使用してプロセスステップの番号、メタライゼーションの層の増加する番号および磨かれている材料の番号の点では半導体の製造業で増えています。 これらの要因はダイヤモンドベースの CVD のための条件を運転しまそれを提供しますスラリーおよびパッドの質の増加する複雑さの良い線幅およびコンパティビリティ調節します。

CVD のダイヤモンドの採用の急成長を見たもう一つの市場は水処理のためのダイヤモンド上塗を施してある電極です。 次第に、これらの電極は選択式に添加されるダイヤモンドの化学 inertness および機能が長い生命を可能にする産業水処理機能およびろ過システム、高信頼性システムで実行されています。

モデル 665 について

モデル 665's 新しい二重区域構成は、下記のものを含んでいる証明されたリアクターを現在の sp3 の同じ機能そして利点提供します: 優秀なダイヤモンドの厚さの均等性、高いスループット、例外的なプロセス反復性、精密なプロセス制御および低価格操作。 スループット、かなり減少 COO を倍増している間モデル 665 費用より少しモデル 650 システムより多くより 40%。

モデル 665 の 2 つの沈殿区域は同時にダイヤモンドの沈殿のための 2 つの区域を機能するプロセスコントローラとの同じプロセスを、および準の電子工学、ガスの配分組織および圧力 (真空) 制御システム常に実行します。 ガスおよび真空の配管は正確に区域間の圧力およびガスの流れのバランスをとるように設計され各区域の沈殿プロセスの厳密な複製を許可します。 新しい二重区域システムはマイナーなポンプだけを搭載する既存の沈殿調理法を、使用しましたり/ステップ時間の修正を冷却します。

二重区域構成の操作はモデルのそれと同一 650 のシリーズです但し例外としては 2 つの区域はロードされ、単一区域およびユーザー・インターフェースの代りに沈殿のために荷を下されて 2 つの区域を表示します。 プロセス制御すべては - ガス制御、圧力制御、プロセス調理法作成および操作、等 - 安全機能およびデータロギングの機能があるように、同じです。

sp3 ダイヤモンドの技術は会社に CVD の沈殿リアクターおよびダイヤモンドベースの解決を電子工学の熱管理におよび高められる提供しま表面を、企業の広いスペクトルを渡って世界的に切ります。 nano および微晶質のダイヤモンドの形態を利用するウエファースケールのダイヤモンド基板製品およびサービスの供給によって sp3 は多結晶性 CVD のダイヤモンドの商業範囲を拡大しています。

sp3 は顧客のダイヤモンドそして製造設備を、また費用、信頼性および品質の必要性を理解します。 自身の CVD のダイヤモンドの製作所の実行に加えて、 sp3 は熱いフィラメント CVD リアクターの販売で一義的です従って顧客は彼らの自身の CVD のダイヤモンドを社内に製造できます。

1993 年に創設され、カリフォルニアサンタクララで本部に置かれて、米国の sp3 ダイヤモンドの技術は薄膜のダイヤモンドの沈殿および厚フィルムの多結晶性ダイヤモンド材料に関して製品の sp3 株式会社、私有、完全サービスの提供者およびサービスの子会社です。 sp3 株式会社および実戦部隊は 1 1/2 百万の切削工具にダイヤモンドを沈殿させ、完了された 18,000 以上正常なダイヤモンドの沈殿は動作します。

Last Update: 12. January 2012 20:50

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