Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

sp3 de Technologieën van de Diamant Introduceert de Nieuwste Reactor van de Diamant van CVD van de heet-Gloeidraad

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 de Technologieën van de Diamant, Inc. (sp3), een belangrijke leverancier van diamantproducten, apparatuur en de diensten, introduceerden vandaag zijn nieuwste reactor van de het depositodiamant van de heet-gloeidraad (CVD) chemische damp, Model 665.

Het nieuwe dubbel-kamersysteem kan tegelijkertijd tot achttien 100 mm-diameter substraten aanpassen die, een 100 percentenverhoging van depositogebied vertegenwoordigen over het enige de kamermodel van het bedrijf. Model 665 drukt beduidend kosten van eigendom (COO) door systeemproductie te verdubbelen terwijl het leveren van de identieke kenmerken van de de diamantfilm van CVD, het depositotarief en de procesuniformiteit als single-chamber reactor van het bedrijf.

Vraag van de Klant naar efficiënte, lagere COO platforms voor volumeproductie dreef ontwikkeling van het hogere productiesysteem. De Zeer Belangrijke markten die snel naar volledige introductie op de markt op weg zijn omvatten de chemische mechanische veredelingsmiddelen (CMP) van het planarizationstootkussen en diamant-met een laag bedekte elektroden voor waterbehandeling. Model 665 zal als platform voor de ontwikkeling van nog de apparatuur van het hoger volumedeposito richtend het gebruik van diamanttussenlagen op halfgeleiderwafeltjes dienen.

„De de diamantfilms van CVD bewegen zich in volledige introductie op de markt,“ bovengenoemde Dwain Aidala, voorzitter en COO van sp3 de Technologieën van de Diamant. De „Schaal en de productie zijn nu kritiek aangezien de inherente voordelen van diamant onbetwist zijn geworden, beweegt het van R&D en proefproductiestadium in volume productie op sommige hoge de groeigebieden. Met veelvoudige klanten die productie van producten ramping die de diamant van CVD opnemen, is onze capaciteit om een hoog platform van het productiviteitsdeposito te leveren echt het unieke aanbieden in de markt.“

De diamant van CVD is een ideaal materiaal voor CMP stootkussenveredelingsmiddelen toe te schrijven aan zijn slijtagekenmerken, chemisch traagheid en gamma van schurende kenmerken. Het gebruik CMP stijgt in halfgeleider productie in termen van het aantal processtappen gebruikend CMP, het stijgende aantal metalliseringslagen en het aantal materialen die worden opgepoetst. Deze factoren drijven de eis ten aanzien van CVD hetgebaseerde conditioneren die fijnere lijnbreedten en verenigbaarheid met de stijgende ingewikkeldheid van dunne modder en stootkussentexturen levert.

Een Andere markt die de snelle groei in de goedkeuring van de diamant heeft gezien van CVD is diamant-met een laag bedekte elektroden voor waterbehandeling. Meer En Meer, worden deze elektroden uitgevoerd in de industriële faciliteiten van de waterbehandeling en filtratiesystemen waar de chemische traagheid en capaciteit van de diamant de selectief te smeren betrouwbaarheidssystemen met lange levensuur, hoge toelaten.

Ongeveer Model 665

De Model665's nieuwe dubbele kamerconfiguratie levert de zelfde eigenschappen en de voordelen van sp3 huidige, bewezen reactoren op, die omvatten: de uitstekende uniformiteit van de diamantdikte, hoge productie, uitzonderlijke procesherhaalbaarheid, nauwkeurige procesbeheersing en lage kostenverrichting. Model 665 kost minder dan 40 percenten meer dan Modelsysteem 650 terwijl het verdubbelen van de productie, beduidend verminderend COO.

De twee depositokamers in Model 665 stellen altijd het zelfde proces, met het het procescontrolemechanisme en de bijbehorende elektronika, systeem van de gasdistributie het systeem die en van de druk (vacuüm) controle gelijktijdig in werking de twee kamers voor diamantdeposito dienen. Het gas en het vacuümloodgieterswerk zijn ontworpen om nauwkeurig druk en gasstroom tussen de kamers in evenwicht te brengen, die nauwkeurige replicatie van depositoprocessen toestaan in elke kamer. Het nieuwe dubbele kamersysteem gebruikt bestaande depositorecepten, met slechts minder belangrijke pomp neer/bedaar stap-tijd wijzigingen.

De Verrichting van de dubbele kamerconfiguratie is identiek aan dat Model 650 reeksen behalve dat worden twee kamers geladen voor deposito in plaats van één enkele kamer en de gebruikersinterfacevertoningen twee kamers en leeggemaakt. Alle procesbeheersing - gascontrole, drukcontrole, de verwezenlijking van het procesrecept en verrichting, enz. - zijn het zelfde, zoals de de veiligheidseigenschappen en mogelijkheden van het gegevensregistreren zijn.

sp3 de Technologieën van de Diamant verstrekt het depositoreactoren van CVD en op diamant-gebaseerde oplossingen voor elektronika thermisch beheer en verbeterde scherpe oppervlakten wereldwijd aan bedrijven, over een breed spectrum van de industrieën. Door wafeltje-schaal diamant-op-substraat producten en de diensten te leveren die nano en microcrystalline diamantmorfologie gebruiken, breidt sp3 het commerciële bereik van polycrystalline diamant van CVD uit.

sp3 begrijpt diamant en productieapparatuur, evenals de kosten, betrouwbaarheids en kwaliteitsbehoeften van zijn klanten. Naast het leiden van zijn eigen de diamant van CVD productiefaciliteiten, is sp3 uniek in het verkopen van zijn hete reactoren van gloeidraadCVD zodat kunnen de klanten hun eigen diamant van CVD binnenshuis vervaardigen.

Opgericht in 1993 en gestationeerd in Santa Clara, Californië, de V.S., sp3 is de Technologieën van de Diamant een dochteronderneming van sp3 Inc., een privé-, volledige dienstverlener van producten en de diensten met betrekking tot thin-film diamantdeposito en thick-film polycrystalline diamantmaterialen. sp3 Inc. en zijn operationele eenheden hebben diamant op meer dan anderhalf miljoen knipselhulpmiddelen gedeponeerd en meer dan 18.000 succesvolle looppas van het diamantdeposito voltooid.

Last Update: 12. January 2012 21:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit