SP3 Diamond Technologies lanserer Nyeste Hot-Filament CVD Diamond Reactor

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

SP3 Diamond Technologies, Inc. (SP3) , en ledende leverandør av diamant produkter, utstyr og tjenester, i dag lansert sin nyeste hot-filament kjemisk damp nedfall (CVD) diamond reaktoren, Model 665.

Den nye dual-kammer-system kan huse opp til atten 100 mm-diameter underlag av gangen, som representerer en 100 prosent økning i nedfall området over selskapets singel kammer modell. Modell 665 reduserer eierkostnader (COO) ved å doble system gjennomstrømming samtidig levere den identiske CVD diamant film egenskaper, avsetning rate og prosess ensartethet som selskapets single-kammer reaktoren.

Kundenes behov for effektiv, lavere COO plattformer for volumproduksjon kjørte utviklingen av høyere gjennomstrømning systemet. Viktige markeder som raskt beveger seg mot full kommersialisering omfatte kjemisk mekanisk planarization (CMP) pad conditioners og diamant-elektroder for vannbehandling. Modell 665 vil tjene som en plattform for utvikling av enda høyere volum deponering utstyr rettet mot bruken av diamant interlayers på halvledere wafere.

"CVD diamant filmer er på vei inn i full kommersialisering", sa Dwain Aidala, president og COO i sp3 Diamond Technologies. "Skala og gjennomstrømming er nå kritisk som den iboende fordelene av diamant har blitt godt anerkjent, flytte den fra R & D og pilot produksjon scenen i volum produksjon i noen høy vekstområder. Med flere kunder ramping produksjon av produkter inneholdende CVD diamant, er vår evne til å levere en høy produktivitet deponering plattformen et virkelig unikt tilbud i markedet. "

CVD diamant er et ideelt materiale for CMP pad conditioners på grunn av sin slitestyrke, kjemiske treghet og utvalg av slipende egenskaper. CMP bruk er økende i halvlederproduksjon i form av antall prosesstrinn bruke CMP, det økende antall Metalliseringen lag og antall materialer være polert. Disse faktorene kjører kravet for CVD diamant-baserte condition som leverer finere linje bredder og kompatibilitet med den økende kompleksiteten i slam og pad teksturer.

Et annet marked som har hatt rask vekst i vedtakelsen av CVD diamant er diamant-elektroder for vannbehandling. I økende grad er disse elektrodene blir implementert i industriell vannbehandling anlegg og filtrering systemer hvor diamond kjemiske treghet og evne til å være selektivt dopet muliggjøre lang levetid, høy pålitelighet systemer.

Om Model 665

Modell 665 nye doble kammer konfigurasjon leverer de samme funksjonene og fordelene av SP3 dagens, bevist reaktorer, inkludert: excellent diamant tykkelse ensartethet, høy gjennomstrømning, eksepsjonell prosess repeterbarhet, presis prosesskontroll og rimelig drift. Modell 665 koster mindre enn 40 prosent mer enn Model 650 systemet mens en dobling av gjennomstrømning, signifikant avtagende COO.

De to deponering kamre i Model 665 alltid å kjøre den samme prosessen med prosessen controller og tilhørende elektronikk, gass distribusjonssystem og trykk (vakuum) kontroll system samtidig betjener to kamre for diamant deponering. Gassen og vakuum avløp har blitt designet for å nøyaktig balansere trykket og gass strømmer mellom kamrene, slik at eksakt replikasjon av deponering prosesser i hvert kammer. Den nye doble kammer system benytter eksisterende deponering oppskrifter, med bare mindre pumpe ned / kjøle ned step-tid modifikasjoner.

Drift av den doble kammer konfigurasjonen er identisk med modell 650 serie bortsett fra at to kamre lastes og losses for deponering stedet for ett enkelt kammer og brukergrensesnittet viser to kamre. Alle prosessen kontroller - gasskontroll, trykkontroll, prosess oppskrift opprettelse og drift, osv. - er de samme, som er sikkerhets funksjoner og data logging evner.

SP3 Diamond Technologies gir CVD avsetning reaktorer og diamant-baserte løsninger for elektronikk termisk styring og forbedret kutte overflater til selskaper over hele verden, over et bredt spekter av bransjer. Ved å levere wafer-skala diamant-on-substrat produkter og tjenester utnytte nano og mikrokrystallinsk diamant morfologi, er SP3 utvide den kommersielle rekkevidden av polycrystalline CVD diamant.

Last Update: 27. October 2011 03:41

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit