as Tecnologias do Diamante sp3 Introduzem o Reactor O Mais Novo do Diamante do CVD do Quente-Filamento

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Diamante Tecnologias, Inc. (sp3), um fornecedor principal de produtos do diamante, equipamento e serviços, introduziu hoje seu reactor mais novo do diamante do depósito de vapor (CVD) químico do quente-filamento, o Modelo 665.

O sistema novo da duplo-câmara pode acomodar até dezoito 100 carcaças do milímetro-diâmetro de cada vez, representando um aumento de 100 por cento na área do depósito sobre modelo da câmara da empresa o único. O Modelo 665 reduz significativamente o custo da posse (COO) dobrando a produção de sistema ao entregar as características do filme do diamante do CVD, a taxa de depósito e a uniformidade idênticas do processo como o reactor da único-câmara da empresa.

A Procura dos clientes para eficiente, mais baixa ARRULHA plataformas para a produção de volume conduziu a revelação do sistema mais alto da produção. Os mercados Chaves que se estão movendo ràpida para a comercialização completa incluem condicionadores mecânicos químicos (CMP) da almofada do planarization e os eléctrodos diamante-revestidos para o tratamento da água. O Modelo 665 servirá como uma plataforma para a revelação mesmo do equipamento do depósito de um volume mais alto que visa o uso de interlayers do diamante em bolachas de semicondutor.

Do “os filmes do diamante CVD estão movendo-se na comercialização completa,” disse Dwain Aidala, presidente e ARRULHAM de Tecnologias do Diamante sp3. A “Escala e a produção são agora críticas como os benefícios inerentes do diamante se tornaram incontestados, movendo o do R&D e da fase de produção piloto na fabricação do volume em algumas áreas de elevado crescimento. Com os clientes múltiplos que ramping a fabricação dos produtos que incorporam o diamante do CVD, nossa capacidade para entregar uma plataforma alta do depósito da produtividade é um oferecimento verdadeiramente original no mercado.”

O diamante do CVD é um material ideal para os condicionadores da almofada do CMP devido a seus características do desgaste, inertness químico e escala de características abrasivas. O uso do CMP está escalando na fabricação do semicondutor em termos do número de etapas do processo usando o CMP, o número crescente de metalização mergulha e o número de materiais que estão sendo lustrados. Estes factores estão conduzindo a exigência para o CVD diamante-baseado condicionando isso entregam uma linha mais fina larguras e compatibilidade com a complexidade crescente das pastas e das texturas da almofada.

Um Outro mercado que considere o crescimento rápido na adopção do diamante do CVD é eléctrodos diamante-revestidos para o tratamento da água. Cada Vez Mais, estes eléctrodos estão sendo executados em facilidades do tratamento da água e nos sistemas industriais onde o inertness e a capacidade químicos do diamante ser lubrificado selectivamente permitem a longa vida, sistemas da filtragem de confiança alta.

Sobre o Modelo 665

A configuração dupla nova da câmara do Modelo 665's entrega as mesmos características e benefícios de sp3 actual, reactores provados, incluindo: uniformidade excelente da espessura do diamante, produção alta, repetibilidade excepcional do processo, operação precisa do custo controle de processos e baixo. Os custos do Modelo 665 menos de 40 por cento mais do que o sistema do Modelo 650 ao dobrar a produção, diminuindo significativamente ARRULHAM.

As duas câmaras do depósito no Modelo 665 executam sempre o mesmo processo, com o controlador do processo e a eletrônica, o sistema de distribuição do gás e o sistema de controlo associados da pressão (vácuo) servindo simultaneamente as duas câmaras para o depósito do diamante. O encanamento do gás e do vácuo foi projectado equilibrar exactamente o fluxo da pressão e do gás entre as câmaras, permitindo a réplica exacta de processos do depósito em cada câmara. O sistema duplo novo da câmara usa receitas existentes do depósito, com somente a bomba menor para baixo/refrigera para baixo alterações do etapa-tempo.

A Operação da configuração dupla da câmara é idêntica àquela do Modelo 650 séries salvo que duas câmaras são carregadas e descarregado para o depósito em vez de uma única câmara e da interface de utilizador indica duas câmaras. Todos os controles do processo - controle de gás, controle de pressão, criação e operação da receita do processo, Etc. - são os mesmos, como são as capacidades do registo das características e de dados da segurança.

as Tecnologias do Diamante sp3 fornecem reactores do depósito do CVD e as soluções diamante-baseadas para a gestão térmica da eletrônica e a estaca aumentada surgem às empresas no mundo inteiro, através de um espectro largo das indústrias. Fornecendo os produtos e serviço da diamante-em-carcaça da bolacha-escala que utilizam a morfologia nano e microcrystalline do diamante, sp3 está expandindo o alcance comercial do diamante policristalino do CVD.

sp3 compreende o diamante e o equipamento de fabricação, assim como as necessidades do custo, da confiança e da qualidade de seus clientes. Além do que a direcção de suas próprias instalações de manufactura do diamante do CVD, sp3 é original em vender seus reactores quentes do CVD do filamento assim que os clientes podem fabricar sua própria em-casa do diamante do CVD.

Fundado em 1993 e sediado em Santa Clara, Califórnia, EUA, Tecnologias do Diamante sp3 é uma subsidiária de sp3 Inc., um fornecedor de propriedade privada, de serviço completo dos produtos e serviço em relação ao depósito de fita fina do diamante e materiais policristalinos do diamante do grosso-filme. sp3 Inc. e suas unidades operacionais depositaram o diamante sobre sobre um e ferramentas as meias milhão de estaca e mais o depósito bem sucedido terminado do diamante de 18.000 são executado.

Last Update: 12. January 2012 20:16

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