Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Технологии Диаманта sp3 Вводят Самый Новый Реактор Диаманта CVD Горяч-Нити

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Диамант Технологии, Inc. (sp3), ведущий поставщик продуктов диаманта, оборудования и обслуживаний, сегодня ввело свой самый новый реактор диаманта низложения химического (CVD) пара горяч-нити, Модель 665.

Новая система двойн-камеры может приспособить до 18 100 субстратов mm-диаметра одновременно, представляющ увеличение 100 процентов в зоне низложения над моделью камеры компании одиночной. Модель 665 значительно уменьшает цену владения (COO) путем удваивать объём системы пока поставляющ идентичные характеристики фильма диаманта CVD, тариф низложения и единообразие процесса как реактор одиночн-камеры компании.

Покупательский спрос для эффективных, более низких платформ COO для объема продукции управлял развитием более высокой системы объём. Основной рынок которые быстро приблиубегут к полная коммерциализация включают химические механически проводники (CMP) пусковой площадки planarization и диамант-покрынные электроды для водоочистки. Модель 665 будет служить как платформа для развития даже более высокообъемного оборудования низложения пристреливая пользу прослойков диаманта на вафлях полупроводника.

«Фильмы диаманта CVD двигают в полную коммерциализацию,» сказал Dwain Aidala, президент и COO Технологий Диаманта sp3. «Маштаб и объём теперь критические по мере того как своиственные преимущества диаманта были хорошо-узнанными, двигающ его от R&D и пилотного этапа продукции в изготавливание тома в некоторых зонах высокого роста. При множественные клиенты ramping изготавливание продуктов включая диамант CVD, наша способность поставить высокую платформу низложения урожайности поистине уникально предлагать в базарной площади.»

Диамант CVD идеально материал для проводников пусковой площадки CMP должных к своим характеристикам износа, химической инерционности и ряду истирательных характеристик. Польза CMP поднимает в изготавливании полупроводника оперируя понятиями числа отростчатых шагов используя CMP, увеличивая номер металлизирования наслаивает и число будучи отполированным материалов. Эти факторы управляют требованием для диамант-основанного CVD подготовляющ то поставляют более точную линию ширины и совместимость с увеличивая сложностью slurries и текстур пусковой площадки.

Другой рынок который видел быстрый рост в принятии диаманта CVD диамант-покрынные электроды для водоочистки. Все Больше И Больше, эти электроды снабжаются в промышленных средствах водоочистки и системах где инерционность и способность диаманта химические выборочно быть данным допинг включают длинную жизнь, системах фильтрации высокой надежности.

О Модели 665

Конфигурация камеры Модели 665's новая двойная поставляет такие же характеристики и преимущества sp3 настоящего, доказанные реакторы, включая: превосходное единообразие толщины диаманта, высокое объём, исключительнейшая отростчатая повторимость, точное управление производственным процессом и деятельность низкой цены. Цены Модели 665 чем 40 процентов больше чем система Модели 650 пока удваивающ объём, COO значительно уменьшать.

2 камеры низложения в Модели 665 всегда работают такой же процесс, при отростчатый регулятор и связанные электроника, система распределения газа и система управления давления (вакуума) одновременно служя 2 камеры для низложения диаманта. Трубопровод газа и вакуума был конструирован точно для того чтобы сбалансировать подачу давления и газа между камерами, позволяющ точной репликации процессов низложения в каждой камере. Новая двойная система камеры использует существующие рецепты низложения, с только небольшим насосом вниз/охлаждает вниз изменения шаг-времени.

Деятельность двойной конфигурации камеры идентична к деятельностиз Модели 650 серий за исключением того, что 2 камеры нагружены и расгружено для низложения вместо одиночной камеры и пользовательского интерфейса показывает 2 камеры. Все управления производственным процессом - управление газа, управление давления, отростчатые творение и деятельность рецепта, Etc. - эти же, как характеристики безопасности и возможности регистрации данных.

Технологии Диаманта sp3 снабубегут увеличенные реакторы низложения CVD и диамант-основанные разрешения для управления электроники термального и режущ поверхности компании всемирно, через обширный спектр индустрий. Путем поставлять продукты и обслуживания диамант-на-субстрата вафл-маштаба используя nano и микрокристаллическое словотолкование диаманта, sp3 расширяет коммерчески достигаемость поликристаллического диаманта CVD.

sp3 понимает диамант и технологическое оборудование, так же, как потребности цены, надежности и качества своих клиентов. В дополнение к работать свои собственные производственные площади диаманта CVD, sp3 уникально в продавать свои горячие реакторы CVD нити поэтому клиенты могут изготовить их собственный диамант CVD внутренний.

Основано в 1993 и размещано штаб в Santa Clara, Калифорния, США, Технологии Диаманта sp3 дочерняя компания sp3 Inc., приватн-имеемого, полного сервис-провайдера продуктов и обслуживаний касаясь тонкопленочного низложения диаманта и толстопленочных поликристаллических материалов диаманта. sp3 Inc. и свои тактические соединения депозировали диамант дальше над полтора миллионов режущими инструментами и завершенное больше успешное низложение диаманта чем 18.000 работает.

Last Update: 12. January 2012 20:59

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit