sp3 金刚石技术介绍最新的热细丝 CVD 金刚石反应器

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

sp3 Diamond Technologies, Inc. (sp3),金刚石产品,设备和服务的主导的供应商,今天介绍其最新的热细丝化学气相沉积 (CVD)金刚石反应器,设计 665。

新的双重房间系统可能每次适应十八 100 个 mm 直径基体,表示在证言区的一个 100% 增量在公司的唯一房间设计。 设计 665 通过加倍系统产量极大 (COO)减少所有权的费用,当提供相同的 CVD 金刚石影片特性、沉积率和进程均一作为公司的单一房间反应器时。

对高效,更低的 COO 平台的顾客要求批量生产的驱动了更高的处理量系统的发展。 迅速地移动朝充分的商品化的关键市场包括化工机械 planarization (CMP) 填充调节剂和金刚石上漆的电极水处理的。 设计 665 起一个平台作用对于瞄准使用在半导体片的金刚石夹层的更加大容积的证言设备的发展。

“CVD 金刚石影片搬入充分的商品化”, Dwain Aidala, sp3 金刚石技术的总统和 COO 说。 “缩放比例和处理量现在是重要的,因为金刚石的内在的福利变得识别,搬入它从 R&D 和试验生产阶段数量制造在那些高效成长区。 当广泛客户 ramping 合并 CVD 金刚石的产品制造,我们的能力提供一个高生产率证言平台是一正确地唯一提供在这个市场”。

CVD 金刚石是 CMP 填充调节剂的理想的材料由于其磨蚀特性的穿戴特性、化工惰性和范围。 使用 CMP, CMP 使用在半导体制造中升级根据处理步骤的数量,金属化层的增长的数量和是的材料的数量优美的。 这些系数驱动基于金刚石的 CVD 的需求适应那提供与泥浆和填充纹理的增长的复杂的细线宽度和兼容性。

看到了在 CVD 金刚石的采用的迅速增长的另一个市场是水处理的金刚石上漆的电极。 越来越多地,这些电极在金刚石的化工惰性和能力选择性地被掺杂启用长寿的行业水处理设施和滤清系统,高可靠性系统被实施。

关于设计 665

设计 665's 新的双重房间配置提供当前 sp3 的同样功能和福利,证明的反应器,包括: 非常好的金刚石厚度均一、高处理量、例外处理反复性,准确的程序控制和低成本运算。 设计 665 费用少于 40% 多比设计 650 系统,当加倍处理量,重大减少 COO 时。

在设计 665 的二个证言房间总是运行同一个进程,与同时为金刚石证言的处理管理员和关联电子、气体分布式系统和压 (真空) 控制系统二个房间服务。 气体和真空管道被设计准确地平衡在房间之间的压和气体流,允许证言进程的确切的副本在每个房间的。 新的双重房间系统使用现有的证言处方,与下来仅较小泵/冷静冷却步骤时间修改。

双重房间配置的运算与那是相同的设计 650 系列,除了二个房间被装载,并且转存为证言而不是一个唯一房间和用户接口显示二个房间。 所有流程控制 - 煤气控制、压力控制、处理处方创建和运算等等 - 是相同的,象安全性功能和数据资料记录功能。

sp3 金刚石技术提供 CVD 证言的反应器和改进基于金刚石的解决方法为电子热量管理和削减表面给公司全世界,在清楚的范围行业间。 通过提供薄酥饼缩放比例使用纳诺和微晶质金刚石形态学的金刚石在基体产品和服务, sp3 扩展商业伸手可及的距离多晶的 CVD 金刚石。

sp3 了解金刚石和制造器材,以及其客户的费用、可靠性和质量需要。 除运行其自己的 CVD 金刚石制造设备之外, sp3 是唯一的在出售其热细丝 CVD 反应器,因此客户能制造他们自己的 CVD 金刚石内部。

建立和总部设在 Santa Clara,在 1993年加利福尼亚,美国, sp3 金刚石技术是 sp3 公司、一位私有,服务周到提供者产品和服务辅助与薄膜金刚石证言和厚膜多晶的金刚石材料相关。 sp3 公司和其操作单位存款金刚石一个半百万个切割工具,并且完整超过 18,000 成功的金刚石证言运行。

Last Update: 12. January 2012 20:37

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