Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

SP3的鑽石技術公司推出最新熱絲 CVD金剛石反應堆

Published on August 24, 2010 at 8:54 PM

SP3的鑽石技術公司(SP3) ,鑽石產品,設備和服務的領先供應商,今天宣布推出其最新的熱絲化學氣相沉積(CVD)金剛石反應器,型號665 。

新雙室系統,可容納多達十八個 100毫米口徑的一次基板,在沉積面積增加100%以上公司的單室模型。 665型顯著降低系統的吞吐量增加一倍,同時提供相同的化學氣相沉積金剛石薄膜的特性,沉積速率和過程的統一性,作為該公司的單室反應堆擁有成本(CoO)。

效率,降低量產首席運營官平台的客戶需求推動發展的更高的吞吐量系統。正在迅速走向全面商業化的主要市場包括化學機械研磨(CMP)墊調節器和水處理的金剛石塗層電極。型號 665將作為一個平台,為更高的體積沉積針對半導體晶圓鑽石夾層使用的設備的發展。

CVD金剛石膜進入完全商業化,說:“德韋恩 Aidala SP3的鑽石技術公司總裁兼首席運營官。 “現在關鍵的鑽石所固有的優勢,已成為大家公認的,它從研發和試生產階段的投入量,在一些高增長地區的製造業的規模和吞吐量。斜坡納入 CVD金剛石產品製造與多個客戶,我們有能力提供一個高生產力的沉積平台是一個真正獨一無二的產品在市場上。“

CVD金剛石是一種理想材料研磨墊調節器由於其耐磨等特點,化學惰性和磨料的特色範圍。 CMP使用的是升級使用CMP,越來越多的金屬層和被拋光材料的過程步驟的數量而言,在半導體製造。這些因素都推動基於化學氣相沉積金剛石的空調,提供與日益複雜的泥漿和墊紋理更細的線寬和兼容性的要求。

另一個快速增長的市場,已經看到在採用化學氣相沉積金剛石是用於水處理的金剛石塗層電極。越來越多,這些電極在工業污水處理設施和過濾系統,其中鑽石的化學惰性和能力有選擇地摻雜,使壽命長,可靠性高,系統正在實施。

關於型號 665

新型號 665的雙室配置提供SP3的電流,證明反應堆相同的功能和好處,包括:優良的鑽石厚度均勻性,高吞吐量,特殊工藝的可重複性,精確的過程控制和低運行成本。型號 665的成本低於 40%,比型號 650系統的吞吐量增加一倍的同時,顯著減少首席運營官。

型號 665中的兩個沉積商會始終運行在同一進程,過程和相關的電子控制器,氣體配送系統和壓力(真空)控制系統,同時為金剛石沉積兩院。氣體和真空水暖設計,準確的平衡壓力和分庭之間的氣體流動,使沉積過程的精確複製,在每一個分庭。新的雙室系統使用現有的沉積的食譜,只有輕微的抽氣 /降溫步驟,時間修改。

雙室配置的運作方式是相同的型號 650系列除了兩院加載和卸載的沉積,而不是一個單室和用戶界面的顯示兩院。 - - 過程控制氣體控制,壓力控制,工藝配方創建和操作等都是相同的,如安全功能和數據記錄功能。

SP3鑽石科技公司提供的CVD沉積反應器和基於金剛石的電子熱管理解決方案和增強的切割面,全球範圍內的公司,各行業的廣泛。通過提供晶圓級鑽石基板產品和服務,利用納米和微晶鑽石形態,SP3是擴大商業達到多晶CVD金剛石。

SP3的了解鑽石和製造設備,以及其客戶的成本,可靠性和質量的需求。除了運行自己的化學氣相沉積金剛石的生產設施,SP3是獨特的銷售熱絲 CVD反應器,使客戶可以製造自己的化學氣相沉積金剛石的內部。

成立於 1993年,總部設在美國加利福尼亞州聖克拉拉,SP3的鑽石技術公司是一家SP3公司的子公司,是一家私人擁有,薄膜沉積金剛石和聚晶金剛石厚膜材料有關的產品和服務的全面服務提供商。 SP3公司及其業務單位沉積金剛石超過一年半萬刀具,並完成運行超過 18,000名成功的金剛石沉積。

Last Update: 3. October 2011 16:04

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit