Nueva Eterna FCVD sistema de Applied Materials para chips de lógica de 20nm

Published on August 25, 2010 at 2:16 AM

Applied Materials, Inc. ha anunciado hoy su avance Productor Aplicada ® Eterna ™ FCVD ™ (Fluido CVD1) del sistema, la tecnología de deposición de película primero y el único capaz de aislar eléctricamente los transistores densamente empaquetados en 20 nm y por debajo de los diseños de chips de memoria y lógica con una alta calidad dieléctrica película.

Las brechas entre estos transistores pueden tener relaciones de aspecto de 30:1 más - cinco veces mayor que las necesidades actuales - y perfiles de alta complejidad. Proceso único de la Eterna FCVD sistema completamente llena estos vacíos desde abajo hacia arriba, la entrega de una densa y libre de carbono película dieléctrica de hasta la mitad del costo de la spin-sobre los métodos de depósitos - que requieren de más equipo y muchos pasos de proceso adicionales.

Applied Materials lanza su sistema de avance Eterna FCVD, la primera y única tecnología capaz de depositar una película dieléctrica de alta calidad entre las densas transistores en la memoria de 20 nm y por debajo y chips de lógica.

"La necesidad de llenar las estructuras más pequeñas y más profundo en los diseños de chips avanzado para crear una barrera física para las tecnologías de deposición existentes. Aplicada se ha roto esta barrera con la presentación de su nuevo sistema Eterna FCVD - la entrega de la tecnología de punta que puede permitir el progreso continuo de la Ley de Moore ", dijo Bill McClintock, vicepresidente y gerente general de la Unidad Aplicada de Negocios de DSM / CMP2. "Con el sistema Eterna FCVD, Applied continúa su larga década de liderazgo en el gap-fill tecnología, proporcionando una solución única, simple y rentable para los clientes a afrontar los retos de múltiples generaciones de chips nuevos."

Patentada aplicada la Eterna proceso FCVD ofrece una película líquida que fluye libremente en prácticamente cualquier forma de proporcionar una estructura de abajo hacia arriba, sin espacios de relleno. El sistema Eterna FCVD se instala en seis sitios de los clientes de DRAM, Flash y aplicaciones de la lógica, donde se integra en la plataforma de referencia del productor Aplicada.

Fuente: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 8. October 2011 13:41

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