חדש Eterna FCVD מערכת מ אפלייד מטריאלס עבור שבבי ההיגיון 20nm

Published on August 25, 2010 at 2:16 AM

אפלייד מטיריאלס, הודיעה היום חברת אפלייד פריצת הדרך שלה מפיק ® Eterna ™ FCVD ™ (Flowable CVD1) המערכת, בתצהיר הראשונה והיחידה הסרט טכנולוגיה חשמלית מסוגל לבודד את ארוז בצפיפות טרנזיסטורים 20nm-and-מתחת עיצובים זיכרון השבב עם לוגיקה באיכות גבוהה דיאלקטרי הסרט.

הפערים בין הטרנזיסטורים הללו יכולים להיות היבט ratios של יותר מ 30:1 - חמש פעמים גבוה יותר מאשר דרישות הנוכחי - ואת הפערים מורכב פרופילים. תהליך ייחודי Eterna FCVD של המערכת לחלוטין ממלא את הפערים האלה מלמטה למעלה, ומספק צפוף, נטול פחמן הסרט דיאלקטרי של עד במחצית העלות של ספין על שיטות בתצהיר - אשר דורשת ציוד הרבה יותר שלבים נוספים בתהליך.

אפלייד מטריאלס מציגה פריצת דרך Eterna שלה מערכת FCVD, הטכנולוגיה הראשונה והיחידה מסוגל הפקדת הסרט באיכות גבוהה דיאלקטרי בין ארוז בצפיפות טרנזיסטורים בזיכרון 20nm ומטה שבבי ההיגיון.

"הצורך למלא מבנים קטנים יותר ויותר בעיצובים שבב מתקדם יוצר מחסום פיזי עבור טכנולוגיות בתצהיר הקיים. אפלייד פרץ דרך מחסום זה היום עם כניסתה של מערכת חדשה Eterna FCVD שלה - אספקת טכנולוגיה הרסנית שיכולה לאפשר את המשך ההתקדמות של חוק מור, "אמר ביל מקלינטוק, סגן נשיא ומנהל כללי של יחידת יישומי ה-DSM / CMP2 עסקים. "עם המערכת FCVD Eterna, יישומי ממשיכה ההנהגה עשור הארוכה שלה בתחום הטכנולוגיה, למלא פער, מתן פתרון ייחודי, פשוטה וחסכונית עבור לקוחות כדי לעמוד באתגרים של מספר דורות השבב החדש".

Eterna תהליך קנייני של יישומי FCVD מספקת סרט דמוי נוזל הזורם בחופשיות לתוך צורה כמעט כל המבנה על מנת לספק מלמטה למעלה, חלל ללא מילוי. המערכת Eterna FCVD מותקן בשש אתרי לקוחות עבור DRAM, פלאש ויישומים Logic, שם הוא משולב בפלטפורמה מפיק ביצועים של יישומי.

מקור: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 18. October 2011 23:04

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit