Het Nieuwe Systeem van Eterna FCVD van Toegepaste Materialen voor 20nm de Spaanders van de Logica

Published on August 25, 2010 at 2:16 AM

De Toegepaste Materialen, Inc. kondigden zijn doorbraak Toegepast systeem van Producer® Eterna™ FCVD™ (Flowable CVD1), vandaag de de eerste en slechts technologie van het filmdeposito geschikt om de dicht-ingepakte transistors in 20nm-en-onderstaande geheugen en logicaspaanderontwerpen met aan een diëlektrische film van uitstekende kwaliteit elektrisch te isoleren.

De hiaten tussen deze transistors kunnen aspectverhoudingen van meer dan 30:1 - vijf keer hoger dan huidige vereisten - en hoogst-complexe profielen hebben. Het unieke proces van het systeem van Eterna FCVD vult volledig deze hiaten vanaf bottom up, leverend een dichte, koolstof-vrije diëlektrische film bij maximaal de helft van de kosten van rotatie-op depositomethodes - die meer apparatuur en vele extra processtappen vereisen.

De Toegepaste Materialen introduceert zijn systeem van doorbraakEterna FCVD, de eerste en slechts de technologie geschikt om een diëlektrische film van uitstekende kwaliteit tussen dicht-ingepakte transistors te deponeren in 20nm en onder geheugen en logicaspaanders.

De „behoefte om kleinere en dieptestructuren in geavanceerde spaanderontwerpen te vullen leidt tot een fysieke wegversperring voor bestaande depositotechnologieën. Van Toepassing Geweest door deze barrière vandaag met de introductie van zijn nieuw systeem van Eterna FCVD - leverend de vernietigende technologie heeft gebroken die de voortdurende vooruitgang van de Wet van Moore kan toelaten,“ bovengenoemde Rekening McClintock, ondervoorzitter en algemene manager van Toegepaste DSM/CMP2 BedrijfsEenheid. „Met Eterna FCVD zet het Toegepaste systeem, zijn decennium-lange leiding in Gap-vulling technologie voort, die een unieke, vereenvoudigde en rendabele oplossing verstrekken voor klanten om de uitdagingen van veelvoudige nieuwe spaandergeneraties te ontmoeten.“

Het Toegepaste merkgebonden proces van Eterna FCVD levert een vloeibaar-als film die vrij in vrijwel om het even welke structuurvorm stroomt om bottom up te verstrekken, nietig-vrije vulling. Het systeem van Eterna FCVD is geïnstalleerd bij zes klantenplaatsen voor de toepassingen van de BORREL, van de Flits en van de Logica, waar het op het Toegepaste platform van de benchmarkProducent geïntegreerd is.

Bron: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 12. January 2012 21:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit