Vistec-Lithographie, ein führender Lieferant von hoch entwickelten Elektronträger Lithographieanlagen hat heute angekündigt, dass das Internationale Iberische Nanotechnologie-Labor (INL) in Braga, Portugal einen Auftrag für Vistecs Elektronträger Lithographieanlage EBPG5200 vergeben hat.
Das Portugiesische Labor ist die erste völlig internationale Forschungsorganisation in Europa auf dem Gebiet von nanoscience und von Nanotechnologie.
Elektronträger EBPG5200 Lithographieanlage
Vor das INL, das durch Portugal und Spanien einigen Jahren festgelegt wurde, hat jetzt sich in die ausrüstende Phase seines neuen Forschungsteildienstes bewegt, in dem das Lithographiegerät eine wichtige Rolle spielt. Mit der Serie Vistecs EBPG5200 und seinen eindeutiges und flexibles nanoscale kopierenden Fähigkeiten hat das INL eine der höchstentwickelten Elektronträger Lithographieanlagen für Nanotechnologieforschung und entwicklung erworben. Außerdem ist dieses der erste Einbau einer Anlage EBPG5200 an der Iberischen Halbinsel.
Das Vistec EBPG5200 ist die späteste Version der in hohem Grade aufeinander folgenden und Bereich-erwiesenen EBPG-Elektronträger Lithographie-Hilfsmittelserie. Die Anlage EBPG5200 kann mit beiden 50 und Beschleunigungsspannung 100kV bedient werden und wird mit einem Generator des Musters 50MHz und vollen Technologie einer Adressen 20bit ausgerüstet.
Dank weitere Verbesserungen in der Auflösung, Schalldämpfungs- und Trägerstabilität, das Vistec EBPG5200 wird eingestellt, um Zellen weniger als 8nm auf unterschiedlichen Substratflächengrößen von den Einzelteilen einiger mm zu über einem 200mm Durchmesser voll kopieren zu erzeugen.
Jedoch was Vistecs Elektronenstrahllithographie von den überlegenen Standards so eindeutig und wirklich ermöglicht, ist die perfekte Ergänzung der verschiedenen Anlagenbauteile wie der Elektron-optischen Spalte, der Hardwareplattform, des Computers und des Berührungsmotors, die in einer flexiblen und benutzerfreundlichen Anlage zusammenarbeiten.
Die Anlage enthält eine interaktive grafische Benutzeroberfläche, (GUI) die Benutzerfreundlichkeit für verschiedene „Umgebungen für mehrere Anwender“ zur Verfügung stellt.
„Nanotechnologie hat das Potenzial, unsere zukünftige Lebensdauer in allen Aspekten profund auszuwirken. Die EBPG5200 erschließen die Gelegenheit, höchste Flexibilität beizubehalten und unsere Forschungsaktivitäten auf Spur mit den schwierigen Anforderungen der Zukunft zu halten“, sagte Prof Paulo Freitas, Stellvertretender Generaldirektor an INL.
Stellung Nehmend zu heutiger Mitteilung, beachtete Rainer Schmid, Generaldirektor bei Vistec Lithography, Inc.: „Bei Vistec, glauben wir, dass übereinzustimmen ist wesentlich, mit führenden Forschungsorganisationen auf dem aufmunternden Gebiet von nanoscience und von Nanotechnologie. Deshalb fühlen uns wir geehrt durch Wahl INLS, um zugunsten eines EBPG5200 zu entscheiden.“
Quelle: http://www.vistec-semi.com/