La Litografía de Vistec, un surtidor de cabeza de los sistemas avanzados de la litografía del electrón-haz ha anunciado hoy que el Laboratorio Ibérico Internacional de la NanotecnologÃa (INL) en Braga, Portugal ha puesto una pedido para el sistema EBPG5200 de la litografía del electrón-haz de Vistec.
El Laboratorio Portugués es la primera organización de investigación completo internacional en Europa en el campo del nanoscience y de la nanotecnologÃa.
Sistema de la litografía del electrón-haz EBPG5200
El INL, que fue establecido por Portugal y España hace algunos años, ahora se ha trasladado a la fase que equipaba de su nuevo centro de investigación, donde el equipo de la litografía desempeñará un papel importante. Con la serie de Vistec EBPG5200 y sus capacidades que modelaban del nanoscale único y flexible, el INL ha detectado uno de los sistemas más avanzados de la litografía del electrón-haz para la investigación y desarrollo de la nanotecnologÃa. Además, ésta será la primera instalación de un sistema EBPG5200 en la Península Ibérica.
El Vistec EBPG5200 es la última versión de la serie altamente sucesiva y campo-probada de la herramienta de la litografía del electrón-haz de EBPG. El sistema EBPG5200 se puede gestionar con ambos 50 y voltaje acelerante 100kV y se equipa de un generador de modelo 50MHz y de una tecnología completa del direccionamiento 20bit.
Los Gracias a otros aumentos en la resolución, reducción del nivel de ruidos y estabilidad del haz, el Vistec EBPG5200 se fijan para generar las estructuras menos que 8nm en tallas diversas de los substratos de las piezas de algunos milímetros por completo a modelar a través de un diámetro de 200m m.
Sin Embargo, qué hace la litografía de haz electrónico de Vistec de patrones superiores tan única y real posible, es el complemento perfecto de los diversos componentes de sistema tales como la olumna electrón-óptica, la plataforma de dotación física, el informático y el motor de la exposición trabajando junto en un sistema flexible y convivial.
El sistema incorpora una interfaz gráfica de usuario interactiva (GUI) que proporcione a la facilidad de empleo para los “ambientes de utilizador multi diversos”.
La “NanotecnologÃa tiene el potencial profundo de afectar nuestra vida futura en todos los aspectos. Los EBPG5200 abren la oportunidad de mantener la adaptabilidad más alta y guardar nuestras actividades de investigación en carril con los requisitos desafiadores del futuro”, dijo a Profesor Pablo Freitas, Diputado Director General en INL.
Comentando respecto al aviso de hoy, Rainer Schmid, Director General en Vistec Lithography, Inc. observó: “En Vistec, creemos que es esencial alinear con organizaciones de investigación de cabeza en el campo encouraging del nanoscience y de la nanotecnologÃa. Por eso aserramos al hilo honrados por la opción de INL para decidir a favor de un EBPG5200.”
Fuente: http://www.vistec-semi.com/