Litografia Vistec, un fornitore leader di tecnologie avanzate a fascio di elettroni sistemi di litografia ha annunciato oggi che l'International iberica Nanotechnology Laboratory (INL) a Braga, in Portogallo si è piazzato un ordine per Vistec del fascio elettronico sistema di litografia EBPG5200.
Il Laboratorio portoghese è la prima organizzazione internazionale di ricerca interamente in Europa nel campo delle nanoscienze e delle nanotecnologie.
EBPG5200 litografia a fascio elettronico del sistema
La INL, che è stata istituita dal Portogallo e dalla Spagna alcuni anni fa, è entrata in fase di allestimento del suo nuovo centro di ricerca, dove l'apparecchiature di litografia giocherà un ruolo importante. Con il EBPG5200 Vistec serie e la sua capacità uniche e flessibili patterning su scala nanometrica, la INL ha acquisito uno dei più avanzati a fascio di elettroni sistemi di litografia per la ricerca sulle nanotecnologie e lo sviluppo. Inoltre, questa sarà la prima installazione di un sistema EBPG5200 alla penisola iberica.
Il EBPG5200 Vistec è l'ultima versione del altamente successive e field-proven EBPG a fascio elettronico serie litografia strumento. Il sistema EBPG5200 può funzionare con tensione a 50 e 100 kV accelerazione ed è dotato di un generatore di pattern 50MHz e piena indirizzo tecnologia 20bit.
Grazie ad ulteriori miglioramenti nella risoluzione, riduzione del rumore e la stabilità del fascio, il EBPG5200 Vistec è impostato per generare strutture a meno di 8Nm su substrati di varia dimensione da parti pezzo di pochi millimetri a patterning completa attraverso un diametro di 200mm.
Tuttavia, ciò che rende la litografia a fascio di elettroni Vistec degli standard superiori in modo unico ed effettivamente possibile, è la perfetta corrispondenza dei vari componenti del sistema come ad esempio l'elettrone-ottico della colonna, la piattaforma hardware, il processore di dati e il motore di esposizione a lavorare insieme in modo flessibile utente del sistema e amichevole.
Il sistema incorpora un'interfaccia interattiva utente grafica (GUI) che offre facilità d'uso per i diversi "ambienti multi-utente".
"La nanotecnologia ha il potenziale di impatto profondamente la nostra vita futura in tutti gli aspetti. Il EBPG5200 apre la possibilità di mantenere la massima flessibilità e per mantenere la nostra attività di ricerca in pista con i requisiti impegnativi del futuro ", ha detto il Prof. Paulo Freitas, vicedirettore generale della INL.
Commentando l'annuncio odierno, Rainer Schmid, Direttore Generale di litografia Vistec, Inc. ha osservato: "A Vistec, crediamo che sia essenziale per allinearsi con le organizzazioni di ricerca leader nel settore incoraggiante di nanoscienze e delle nanotecnologie. Ecco perché ci sentiamo onorati dalla scelta INL di decidere a favore di un EBPG5200 ".
Fonte: http://www.vistec-semi.com/