ヴィステックリソグラフィー、高度な電子ビームリソグラフィーシステムのリーディングサプライヤは、ブラガの国際イベリアナノテクノロジー研究所（INL）は、ポルトガルは、ヴィステックの電子ビーム描画装置EBPG5200のための注文をしたことを発表しました。
ポルトガル語研究所は、ナノサイエンスとナノテクノロジーの分野においてヨーロッパで最初の完全な国際的な研究組織です。
EBPG5200電子ビーム描画装置
数年前にポルトガルとスペインで設立されたINLは、、現在はリソグラフィ装置が重要な役割を果たすと、その新たな研究施設の装備段階に移行しました。ヴィステックEBPG5200シリーズとそのユニークかつ柔軟なナノスケールのパターニング機能を使用すると、INLは、ナノテクノロジーの研究と開発のための最も先進的な電子ビームリソグラフィーシステムのいずれかを取得しています。さらに、これはイベリア半島でのEBPG5200システムの最初のインストールとなります。
ヴィステックEBPG5200は、非常に連続すると、フィールドで実証済みのEBPG電子ビーム露光装置シリーズの最新バージョンです。 EBPG5200システムは、50〜100kVの両方加速電圧で動作させることができますし、50MHzのパターンジェネレータと完全な20ビットアドレスの技術が装備されています。
解像度、ノイズリダクション、ビームの安定性の更なる強化のおかげで、ヴィステックEBPG5200は、200ミリメートルの直径にわたって数mmの部分の部分から完全にパターニングするために基板サイズを変えるに以下8nmに構造体を生成するように設定されています。
しかし、そのユニークで実際に可能な優れた規格のヴィステックの電子ビームリソグラフィを作るもの、電子光学カラム、ハードウェアプラットフォーム、データプロセッサと柔軟に連携し、露光エンジンなど、さまざまなシステムコンポーネントの完全な一致です。とユーザフレンドリーなシステム。
システムは、多様な"マルチユーザー環境"のための使いやすさを提供する対話型のグラフィカルユーザーインタフェース（GUI）が組み込まれています。
"ナノテクノロジーは、深くすべての面で私たちの将来の生活に影響する可能性があります。 EBPG5200は、最高の柔軟性を維持し、将来に求められる厳しい要件を持つトラックで私たちの研究活動を維持する機会を切り開く"、教授サンパウロフレイタス、INLにおいて副局長は語った。
本日の発表、ライナーシュミット、ヴィステックリソグラフィーのゼネラルマネージャーのコメントとして、（株）は指摘する："ヴィステックでは、我々はそれがナノサイエンスとナノテクノロジーの有望な分野の一流研究機関との位置合わせするために不可欠であることを信じる。我々はEBPG5200の賛成で決定するINLの選択に応じて光栄理由です。"
ソース： http://www.vistec-semi.com/