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A Litografia de Vistec Recebe o Pedido de INL em Portugal

Published on September 6, 2010 at 7:50 AM

A Litografia de Vistec, um fornecedor principal de sistemas avançados da litografia do elétron-feixe tem anunciado hoje que o Laboratório Ibérico Internacional da Nanotecnologia (INL) em Braga, Portugal colocou um pedido para o sistema EBPG5200 da litografia do elétron-feixe de Vistec.

O Laboratório Português é a primeira organização de investigação inteiramente internacional em Europa no campo do nanoscience e da nanotecnologia.

Sistema da litografia do elétron-feixe EBPG5200

    
O INL, que foi estabelecido por Portugal e pela Espanha certos anos há, tem-se movido agora na fase de equipamento de sua instalação de investigação nova, onde o equipamento da litografia jogará um papel importante. Com a série de Vistec EBPG5200 e suas capacidades de modelação do nanoscale original e flexível, o INL adquiriu um dos sistemas os mais avançados da litografia do elétron-feixe para a investigação e desenvolvimento da nanotecnologia. Além Disso, esta será a primeira instalação de um sistema EBPG5200 na Península Ibérica.

O Vistec EBPG5200 é a versão a mais atrasada da série altamente sucessiva e campo-provada da ferramenta da litografia do elétron-feixe de EBPG. O sistema EBPG5200 pode ser operado com ambos os 50 e tensão 100kV de aceleração e é equipado com um gerador de teste padrão 50MHz e uma tecnologia completa do endereço 20bit.

Os Agradecimentos a uns realces mais adicionais na definição, redução de ruído e estabilidade do feixe, o Vistec EBPG5200 são ajustados para gerar estruturas menos do que 8nm em tamanhos de variação das carcaças das únicas peças de alguns milímetros completamente à modelação através de um diâmetro de 200mm.
Contudo, o que torna a litografia de feixe de elétron de Vistec de padrões superiores tão original e realmente possível, é o fósforo perfeito dos vários componentes de sistema tais como a coluna elétron-óptica, a plataforma de hardware, o processador de dados e o motor da exposição trabalhando junto em um sistema flexível e de fácil utilização.
O sistema incorpora uma interface de utilizador gráfica interactiva (GUI) que forneça a acessibilidade para “multi ambientes de usuário diversos”.

A “Nanotecnologia tem o potencial impactar profunda nossa vida futura em todos os aspectos. Os EBPG5200 abrem a oportunidade de manter a flexibilidade a mais alta e para manter nossas actividades de pesquisa na trilha com as exigências desafiantes do futuro”, disse o Prof. Paulo Freitas, Deputado Director-geral em INL.

Comentando no anúncio de hoje, Rainer Schmid, Director Geral em Vistec Litografia, Inc. notou: “Em Vistec, nós acreditamos que é essencial alinhar com as organizações de investigação principais no campo encorajador do nanoscience e da nanotecnologia. É por isso nós sentimos honrados pela escolha de INL para decidir em favor de um EBPG5200.”

Source: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 12. January 2012 03:24

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