Литографирование Vistec, ведущий поставщик предварительных систем литографированием луча электронов объявляло сегодня что Международная Иберийская Лаборатория Нанотехнологии (INL) в Браге, Португалии сделала заказ заказ для системы EBPG5200 литографированием луча электронов Vistec.
Португальская Лаборатория первая польностью международная научно-исследовательская организачия в Европе в поле nanoscience и нанотехнологии.
Система литографированием луча электронов EBPG5200
INL, которое было установлено Португалией и Испанией некоторые леты тому назад, теперь двигало в оборудуя участок своего нового средства исследования, где оборудование литографированием сыграет важную роль. С серией Vistec EBPG5200 и своими возможностями уникально и гибкого nanoscale делая по образцу, INL приобрело одну из самых предварительных систем литографированием луча электронов для научных исследований и разработки нанотехнологии. Furthermore, это будет первой установкой системы EBPG5200 на Иберийском Полуострове.
Vistec EBPG5200 самая последняя версия сильно последовательной и пол-доказанной серии инструмента литографированием луча электронов EBPG. Систему EBPG5200 можно эксплуатировать с обоими 50 и ускоряя ход напряжениями тока 100kV и оборудована с генератором картины 50MHz и полной технологией адреса 20bit.
Спасибо более дополнительные повышения в разрешении, уменьшение шума и стабилность луча, Vistec EBPG5200 установлены для того чтобы произвести структуры более менее чем 8nm на меняя размерах субстратов от частей части немного миллиметров к вполне делать по образцу через диаметр 200mm.
Однако, что делает литографирование луча электронов Vistec главных стандартов настолько уникально и фактически возможным, совершенная спичка различных элементов системы как электрон-оптически колонка, платформа аппаратных средств, устройство для обработки данных и двигатель выдержки работая совместно в гибкой и дружественной системе.
Система включает взаимодействующий графический интерфейс пользователя (GUI) который предусматривает легкий в использовании для разнообразных «multi окружающих сред пользователя».
«Нанотехнология имеет потенциал глубокомысленно плотно сжать нашу будущую жизнь в всех аспектах. EBPG5200 раскрывают вверх по возможности поддерживать самую высокую гибкость и держать наши научно-исследовательские работы на следе с трудный требованиями будущего», сказал Prof. Paulo Freitas, Заместитель Директора - генералитет на INL.
Комментирующ на сегодняшнем объявлении, Rainer Schmid, Генеральный Директор на Vistec Литографировании, Inc. заметило: «На Vistec, мы верим что необходимо выровнять с ведущими научно-исследовательскими организачиями в ободряющем поле nanoscience и нанотехнологии. Это почему мы чувствуем удостоинными выбором INL решить в пользу EBPG5200.»
Источник: http://www.vistec-semi.com/