Vistec Litografi, en ledande leverantör av avancerade elektronstrålebehandlade litografisystem har idag meddelat att den internationella iberiska Nanoteknik Laboratory (INL) i Braga, Portugal har lagt en order på Vistec är elektron-stråle litografi systemet EBPG5200.
Den portugisiska Laboratory är den första helt internationell forskningsorganisation i Europa inom området nanovetenskap och nanoteknik.
EBPG5200 elektron-stråle litografi systemet
Den INL, som bildades av Portugal och Spanien för några år sedan, har nu flyttat in i utrusta fasen av sitt nya forskningsanläggning, där litografisk utrustning kommer att spela en viktig roll. Med Vistec EBPG5200 serien och dess unika och flexibla nanoskala kapacitet mönstring har INL förvärvat en av de mest avancerade elektron-stråle litografi system för nanoteknik forskning och utveckling. Dessutom kommer detta att vara den första installationen av en EBPG5200 system på Iberiska halvön.
Den Vistec EBPG5200 är den senaste versionen av det mycket på varandra och beprövade EBPG elektron-stråle litografi verktyg serien. Det EBPG5200 Systemet kan drivas med både 50 och 100kV accelerationsspänning och är utrustad med en 50MHz mönsterritare och fullständig adress 20bit teknik.
Tack vare ytterligare förbättringar i upplösning, brusreducering och balk stabilitet, är Vistec EBPG5200 att generera strukturer till mindre än 8nm på olika substrat storlekar från lösa delar av några millimeter till full mönstring över en 200mm diameter.
Men det som får Vistec är elektronstrålelitografi av högsta standard så unik och faktiskt möjligt, är en perfekt matchning av de olika komponenter som t.ex. elektron optiska kolumnen hårdvaruplattform, data processor och exponeringen motorn arbetar tillsammans på ett flexibelt och användarvänligt system.
Systemet innehåller ett interaktivt grafiskt användargränssnitt (GUI) som ger användarvänlighet för olika "flera användare miljöer".
"Nanoteknik har potential att i grunden påverka vårt framtida liv i alla aspekter. Den EBPG5200 öppnar möjlighet att upprätthålla hög flexibilitet och att hålla vår forskning på rätt spår med den utmanande krav i framtiden ", säger professor Paulo Freitas, vice generaldirektör vid INL.
I en kommentar till dagens tillkännagivande, Rainer Schmid, General Manager på Vistec Litografi, noterade Inc.: "På Vistec, tror vi att det är viktigt att anpassa med ledande forskningsorganisationer i de uppmuntrande inom nanovetenskap och nanoteknik. Det är därför vi känner oss hedrade av INL: s val att fatta beslut till förmån för en EBPG5200. "
Källa: http://www.vistec-semi.com/