Vistec光刻技术，先进的电子束光刻系统的领先供应商今天宣布，国际伊比利亚纳米技术实验室（INL）在Braga，葡萄牙放在一个Vistec的电子束光刻系统EBPG5200。
葡萄牙实验室是欧洲第一个完全国际组织在纳米科学和纳米技术领域的研究。
EBPG5200电子束光刻系统
若干年前，这是由葡萄牙和西班牙设立的INL，现已进入装备其新的研究设施，其中光刻设备将发挥重要作用的阶段。 Vistec EBPG5200系列，其独特而灵活的纳米图案的能力，已取得的INL为纳米技术的研究和开发的最先进的电子束光刻系统之一。此外，这将是一个EBPG5200系统首次安装在伊比利亚半岛。
Vistec EBPG5200是高度连续的现场验证的EBPG电子束光刻工具系列的最新版本。 EBPG5200系统可以运行50和100KV加速电压和一个50MHz的模式发生器和完整的20位地址的技术装备。
在分辨率，降噪和梁稳定性进一步增强，Vistec EBPG5200设置生成不同的基板大小从几毫米的零件，以完整的图案，通过一个直径200mm的结构小于8nm。
然而，是什么使得Vistec的优越标准的电子束光刻技术，使独特和实际可能，是对的，如电子光学列各系统组件完美匹配，的硬件平台，数据处理器和的曝光发动机工作一起在一个灵活的和用户友好的系统。
该系统采用交互式图形用户界面（GUI），它提供了多样的“多用户环境”的易用性。
“纳米技术有可能在各方面深刻地影响我们未来的生活。 EBPG5200开辟了机会，以保持最大的灵活性，并保持跟踪与未来的挑战要求我们的研究活动，圣保罗弗雷塔斯，副主任在INL的教授说。“
在谈到今天的宣布，莱纳施密德，总经理Vistec光刻时，公司指出：“在Vistec，我们相信，它是必不可少的，以配合鼓励在纳米科学和纳米技术领域领先的研究机构。这就是为什么我们感到荣幸INL的选择来决定赞成一个EBPG5200的。“
来源： http://www.vistec-semi.com/