Vistec光刻技術，先進的電子束光刻系統的領先供應商今天宣布，國際伊比利亞納米技術實驗室（INL）在Braga，葡萄牙放在一個 Vistec的電子束光刻系統 EBPG5200。
葡萄牙實驗室是歐洲第一個完全國際組織在納米科學和納米技術領域的研究。
EBPG5200電子束光刻系統
若干年前，這是由葡萄牙和西班牙設立的INL，現已進入裝備其新的研究設施，其中光刻設備將發揮重要作用的階段。隨著 Vistec EBPG5200系列，其獨特而靈活的納米圖案的能力，已取得的INL為納米技術的研究和開發的最先進的電子束光刻系統之一。此外，這將是一個 EBPG5200系統首次安裝在伊比利亞半島。
Vistec EBPG5200是高度連續的現場驗證的EBPG電子束光刻工具系列的最新版本。 EBPG5200系統可以運行 50和100KV加速電壓和一個 50MHz的模式發生器和完整的20位地址的技術裝備。
在分辨率，降噪和梁穩定性進一步增強，Vistec EBPG5200設置生成不同的基板大小從幾毫米的零件，以完整的圖案，通過一個直徑 200mm的結構小於 8nm。
然而，什麼使得Vistec的優越標準的電子束光刻技術，使獨特和實際可能，是對的，如電子光學列各系統組件完美匹配，的硬件平台，數據處理器和的曝光發動機工作一起在一個靈活的和用戶友好的系統。
該系統採用交互式圖形用戶界面（GUI），它提供了多樣的“多用戶環境”的易用性。
“納米技術有可能在各方面深刻地影響我們未來的生活。 EBPG5200開闢了機會，以保持最大的靈活性，並保持跟踪與未來的挑戰要求我們的研究活動，聖保羅弗雷塔斯，副主任在INL的教授說。“
在談到今天的宣布，萊納施密德，總經理 Vistec光刻時，公司指出：“在Vistec，我們相信，它是必不可少的，以配合鼓勵在納米科學和納米技術領域領先的研究機構。這就是為什麼我們感到榮幸 INL的選擇來決定贊成一個 EBPG5200的。“
來源： http://www.vistec-semi.com/