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Toppan 인쇄는 22nm와 20nm 장치를 위한 새로운 Photomask 프로세스를 개발합니다

Co., 주식 회사 인쇄 Toppan는 오늘 22nm와 20nm 반도체 소자 생산을 지원하기 위하여 Asaka, 일본에 있는 그것 시설에 photomask 제조공정을, 개발했다는 것을 알렸습니다.

이 프로세스는 Toppan의 IBM와 가진 전진하는 합동개발 계획사업을 통해 개발되었습니다. Toppan는 앞 가장자리 반도체 제조 고객을 위한 22nm와 20nm photomask prototyping 뿐 아니라 생산을 지원하게 준비되어 있습니다.

반도체에는 원거리 통신 장치와 높게 복잡한 다기능 디지털 소비자 전자 제품을 위한 성장 수요 된 점점 정교한 때문에 있습니다. 그 같은 향상된 반도체에는 및 더 값이 싼 더 나은 성과가, 낮은 전력 소비 있을 것으로 예상됩니다. Photomasks는 그 요구에 응하는 반도체 생성에 있는 중요한 역할을 합니다. Toppan에서 새로운 photomask 프로세스는 차세대 기술을 위한 반도체의 생산을 가속하는 것을 도울 것입니다.

photomasks가 더 복잡하게 되더라도, IBM Toppan Photomask 합동개발 계획사업은 동쪽 Fishkill 및 올바니, 뉴욕에 있는 IBM 웨이퍼 기술 팀으로 또한 중요한 발달 비용 savings를 달성하고 있는 동안, photomask 기술을 강화하기 위하여 공저했습니다. 최신 photomask 기술 해결책은 향상된 두 배 193nm 파장 아르곤 불화물 (ArF) 침수 (SMO) 광학 석판인쇄술의 기능을 확장하는 모방 및 근원 가면 optimization1 해결책을 위한 웨이퍼 필수품을 수용합니다. EUV와 그밖 차세대 석판인쇄술 기술에 집중되는 주의, 22nm를 위한 제조 준비되어 있는 해결책의 납품에 이 대안 존재하는 중요한 도전 및 20nm 마디에도 불구하고.

글로벌 반도체 생태계를 지원하기 위하여는, photomask 기술은 웨이퍼 계획 앞서서 남아 있고 더 나은 기능을 제공해야 합니다. 이것 달성의 1개의 방법은 비발한 가면 물자 및 관련되는 photomask 프로세스 통합의 발달을 통해 웨이퍼 성과를 강화하기 위한 것입니다. 향상된 photomask와 웨이퍼 성과를 위한 유리제 물자 (OMOG)에 새롭고, 더 얇은 불투명한 MoSi는 개발되었습니다. 실현된 photomask 이점은 향상한 편평함, 보다 적게 프로세스 유도한 패턴 배치 변경, 증가한 정리 내구성, 더 나은 해결책 및 우량한 심상 균등성입니다.

웨이퍼 인쇄를 위한 얇은 OMOG에 의해 가능하게 된 개선은 훨씬 혁명적입니다. 얇은 OMOG와 관련되었던 감소된 지세는 더 작은 전자장 bias2, 향상한 웨이퍼 manufacturability 및 감소된 가면 패턴 제한을 허용합니다. 편한 가면 패턴 제한 증가 이하 해결책 지원과 구석 에 구석 간격과 같은 주요 특징에 광학적인 근접 개정 융통성. 우량한 전반적인 석판인쇄술 성과는 가면 개선과 웨이퍼 인쇄 이득의 조합을 통해 장악될 수 있습니다.

이 새로운 photomask 기술의 세부사항은 2010 SPIE Photomask 기술 회의, 몬트레이, 캘리포니아에서 9월 13-16일에 제출될 것입니다.

"이 공고 성공에 있는 중요한 공정표를 표시합니다, Toppan와 IBM 사이 다년간 합동개발 협력,"는 게리 Patton를 IBM 반도체 연구 & 개발 센터의 부사장 말했습니다. "Photomasks 반도체 제조를 위한 기술을 가능하게 하기에 중대하, 함께 우리의 2명의 회사는."는 22nm와 더 작은 장치의 발달, 양 생산 및 시간 에 시장을 속력을 내는 것을 도울 수 있는 향상된 가면 제조 기술을 전달했습니다

"Toppan와 IBM 사이 협조적인 일 다른 photomask 기술 혁신을 오늘 달성했습니다,"는 전자공학 부의 Toshiro Masuda, 부의장 및 Toppan 인쇄의 전무 이사를 말했습니다. "Toppan 반도체 산업의 기동전개에 기여하기 위하여 이 새로 개발한 photomask 프로세스를 레버리지를 도입해서 우리의 반도체 제조 고객을 지원하는 것을 계속할 것입니다."는

근원: http://www.toppan.co.jp/

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