Карл Zeiss Запускает Новую Систему Зарегистрирования Photomask

Published on September 13, 2010 at 3:42 AM

Карл Zeiss вводит свою Систему Зарегистрирования PROVE™ и Метрологии Верхнего Слоя для photomasks на Конференции Photomask SPIE в размещении изображения измерений Монтерей/CA. PROVE™ на photomasks при главное разрешение соотвествуя трудные узла технологии 32nm и за пределами.

Дальнейшее расширение литографирования 193nm к следующим узлам технологии путем вводить сильные оптически коррекции близости и двойной делать по образцу требует новых подходов для зарегистрирования photomask и метрологии верхнего слоя.

Ново ДОКАЖИТЕ Систему Зарегистрирования Photomask и Метрологии Верхнего Слоя

При свое ограничиваемое огибание, высокое воображение разрешения оптическое работающ на литографской уместной длине волны 193nm перспективы новой системы PROVE™ открытые поднимающие вверх полностью новые в метрологии зарегистрирования. PROVE™ позволяет для измерения самых малых характеристик продукции без устанавливать метки зарегистрирования. «Эта реальная метрология зарегистрирования в-плашки огромное преимущество для наших клиентов в Изготавливании Маски. Для the first time внутри истории, создателя маски могл измерить и проанализировать зарегистрирование где оно действительно имеет значение. Дополнительно, 0Nс увеличением разрешением требует например для литографирования EUV, мы можем расширить наши возможности инструмента к предстоящим узлам технологии.» объясняет Др. Оливера Kienzle, Управляющий Директор Разделения Систем Метрологии Полупроводника Карл Zeiss SMT.

Собственническая стратегия автофокуса и тарировки новой системы включает повторимость под 0.5nm и точность под 1nm для самого лучшего проведения измерения зарегистрирования.

Даже в изготавливании сочинителей маски система PROVE™ использована для того чтобы настроить генераторы картины для того чтобы улучшить результаты размещения картины и уменьшить ошибки зарегистрирования на photomasks. Недавно Карл Zeiss сообщенный о пересылке первого инструмента к NuFlare Технологии Inc., миры водя поставщика e-луча основало сочинителей маски.

Следующая система к клиенту Магазина Маски будет поставлена в конце этого месяца.

Вывешенный 13-ое сентября 2010

Last Update: 12. January 2012 20:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit