Posted in | Nanofabrication

אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה קיבלה הזמנה מאת המכון לננוטכנולוגיה

Published on September 15, 2010 at 9:18 AM

אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה , מנהיג בתצהיר, לחרוט מערכות גידול, קיבלה לאחרונה הזמנה פלזמה three לחרוט וכלים בתצהיר מהמרכז למצוינות Nanoelectronics (CEN) במכון ההודי למדע (IISc) בבנגלור, הודו. Three System100 הכלים יהיה ממוקם המדינה של ה-CEN של חדר nanofabrication האמנות של מתקן חדש נקי מורכב משני PlasmaPro ™ System100 כלים ICP קוברה לחרוט אחד PlasmaPro System100 כלי PECVD.

פתרון גמיש ורב עוצמה לתהליכים פלזמה תחריט בתצהיר, עומס נעול של System100 כניסה רקיק רקיק מאפשר להחליף במהירות, את המגוון הרחב ביותר של גזים תהליך טווח מוגדל הטמפרטורה בתהליך. תהליך המאפשר גמישות מקסימלית עבור מוליכים למחצה המתחם, אופטו, Photonics, MEMS ויישומים מיקרופלואידיקה, System100 PlasmaPro חרט פלזמה ו כלי בתצהיר יכול להיות בתצורות רבות, כולל ICP ואפשרויות PECVD הורה IISc.

שני ICP-ורי מערכות מערכות PECVD הוגדרו עבור מגוון רחב של התהליכים הנדרשים על CEN, IISc, שהוא מתקן מרובת משתמשים הלאומי. Chemistries לחרוט כוללים את היכולת לחרוט פולי סיליקון, סיליקון אוקסיד, סיליקון ניטריד ועוד מגוון של מתכות. בנוסף לעיבוד סיליקון, כלים מוגדרים גם עבור GaAs ויכולת גן התהליך עבור מהירות גבוהה, כוח טרנזיסטורים תדר. המערכת מאפשרת PECVD ניטריד מתח מהונדסים עבור חיישני MEMS, תחמוצת בטמפרטורה נמוכה ועבה מאוד מרובה קרום סיליקון כחומר מבני חיישני אינרציה.

תגובות Prof.Navakanta Bhat מהמחלקה להנדסת חשמל באוניברסיטת תקשורת IISc, "בחרנו להזמין מערכות אוקספורד מכשירים על אחידות התהליך מעולה שלהם, רמה גבוהה של תמיכה המוצעים על ידי החברה. התרשמנו במיוחד את היכולות הטכניות של הצוות ואת נכונותם לעבוד עם הלקוחות שלהם, בהתחשב הלקוח כשותף.

המתקן החדש שלנו יהיה אחד מסוגו בארץ עם חדר נקי 14,000 sq.ft בבניין חדש (90,000 sq.ft) עבור המרכז ננו מדע והנדסה (CeNSE). מדינת חדר נקי אמנות יהיה בבית את הכלים הטובים ביותר, דואגת לצרכים מגוונים של חוקרים, מערכות מכשירים "אוקספורד להציע ולרוחבה של תהליכים הטכנולוגיה המובילה שאנחנו צריכים. מערכות אוקספורד אינסטרומנטס יאפשר IISc לבצע מחקר הגבול במספר תחומים, כולל אלקטרוניקה ננו MEMS ו לסייע בהשגת המטרה שלנו ביצירת טכנולוגיות שיכולות להיות מנוצלות על ידי תעשיית מסחרית ".

סמן Vosloo, מנהל מכירות ותמיכה בלקוחות עבור אוקספורד מכשירים פלזמה טכנולוגיה שמחה עם הסדר הזה, "זה מסדר שני בתוך שנה מ - תוצאות מחקר חשוב מן המכון ההודי היכולת שלנו לענות על הצרכים של הלקוחות שלנו באמצעות טכנולוגיה מתקדמת לשירות, בזמן שיש את החוויה עבור אותם כדי להיות מסוגל להסתמך על הכיתה שלנו מוצרים חדשניים בעולם. "

Last Update: 3. October 2011 12:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit