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牛津仪器等离子技术接收来自纳米技术研究所的订单

Published on September 15, 2010 at 9:18 AM

牛津仪器等离子技术 ,蚀刻,沉积和生长系统的领导者,最近收到三个等离子蚀刻和沉积工具的卓越中心在纳米电子学(CEN)的印度科学研究所(IISc)在印度班加罗尔,印度的顺序。这三个System100工具将位于岑的国家最先进的纳米加工设施的新的洁净室和两个PlasmaPro™System100 ICP备眼镜蛇蚀刻工具和一PlasmaPro System100 PECVD反应的工具组成。

等离子体刻蚀和沉积过程的一个灵活和强大的解决方案,System100的负载锁定晶圆项目,允许快速的晶圆交流,范围最广,工艺气体和扩展过程的温度范围内。 PlasmaPro System100等离子蚀刻和沉积工具允许最大的化合物半导体,光电,光电,微机电系统(MEMS)和微流体应用过程中的灵活性,可以有多种配置,包括ICP和IISc有序的PECVD选项。

两个ICP - RIE系统和PECVD系统已配置的范围最广岑,IISc,这是一个多用户的国家设施所需的进程。蚀刻化学蚀刻聚硅,氧化硅,氮化硅和多种金属的能力。除了硅加工,工具也被配置为GaAs和GaN的过程能力,高速度,高频率的功率晶体管。 PECVD系统可以作为结构材料惯性传感器的MEMS传感器,低温氧化物和很厚的多晶硅薄膜的设计应力氮化物。

从电气通信工程处IISc评论Prof.Navakanta铢,“我们选择为了牛津仪器的系统,其卓越的技术和均匀性,由该公司提供的支持高层次。我们印象特别深刻的技术能力的员工和他们的工作意愿与他们的客户,考虑客户作为合作伙伴。

我们的新工厂,将其与洁净室建设一个新的纳米科学与工程中心(焚香)(90,000呎)14,000呎的国家之一。最先进的洁净室的状态将房子的最佳工具,满足研究人员的不同需求,和牛津仪器的系统进程的广度和领先的技术,我们需要提供。牛津仪器的系统将使IISc开展在许多领域,包括纳米电子和MEMS的前沿研究,并有助于实现我们的目的是创造可商业利用行业的技术。“

马克Vosloo,销售和客户支持总监牛津仪器等离子技术是这个顺序很高兴,“这在今年从印度的一个重要研究结果从我们的能力,以满足客户的需求,通过先进的技术和服务的第二顺序,而他们的经验,能够依靠我们的创新的世界一流的产品。“

Last Update: 4. October 2011 20:53

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