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SOKUDO Para Ensamblar Programa Múltiple de la Litografía del E-Haz

Published on September 17, 2010 at 4:59 AM

SOKUDO Co., Ltd., la cubierta de la litografía/desarrollan el carril, equipo de proceso, compañía conjunta, y el CEA-Leti anunció hoy que SOKUDO ensamblará la nuevas industria/investigación que el programa multisocio SE IMAGINA que está desarrollando la litografía maskless para la fabricación de IC.

El proyecto de tres años es llevado por el CEA-Leti, el instituto de investigación Francés de cabeza del semiconductor, y también incluye los fabricantes TSMC y STMicroelectronics del semiconductor. Está evaluando una infraestructura maskless de la litografía y el uso de las herramientas de la Litografía del CARTÓGRAFO para la alta producción. El programa múltiple de la e-haz-litografía reviste una aproximación global a la tecnología, incluyendo la evaluación de la herramienta, modelar y análisis de proceso de la integración, de manipulación de datos, de la creación de un prototipo y de coste.

el “E-Haz tiene el potencial de ser una tecnología viable para muchas capas del proceso de la litografía de sub-22nm en lógica/la fabricación del semiconductor de la fundición,” dijo a Tadahiro Suhara, Presidente y Director General de SOKUDO. “SOKUDO está llevando una aproximación completa la preparación para la cubierta/desarrolla la disposición de proceso del carril en tecnologías múltiples de la litografía de sub-22nm, incluyendo las extensiones de la litografía de ArF de la inmersión, EUV y litografía del e-haz. El CEA-Leti SE IMAGINA que la colaboración reúne un esfuerzo enfocado de activar la litografía producción-digna del e-haz, incluyendo múltiplo resiste clave de los fabricantes al revelado de proceso de sub-22nm.”

“Hemos estado trabajando con el RF3 de SOKUDO cubierta-y-revelamos el sistema de carril durante muchos años y el programa de la IMAGINACIÓN se beneficiará del conocimiento fuerte y soporte de SOKUDO en desarrollar los procesos necesarios para utilizar tecnología maskless,” dijo la Sarga Tedesco, program manager el CEA-Leti. “La experiencia del CEA-Leti en la tecnología del e-haz combinada con SOKUDO cubierta-y-revela experiencia del carril ayudará asegurado a la infraestructura de proceso necesaria para la litografía multi del e-haz.”

La Litografía B.V. del CARTÓGRAFO, basada en Cerámica de Delft, Los Países Bajos, hace las máquinas de la maskless-litografía para la industria del semiconductor. Está utilizando el proyecto de la IMAGINACIÓN con sus plataformas masivo paralelas del electrón-haz.

Fuente: http://www.leti.fr/

Last Update: 12. January 2012 09:40

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